德州仪器300-mm RFAB晶圆厂内部首曝光【上】
2011-07-04 15:26
来源:
OFweek电子工程网
正在走向全面生产
The area of RFAB nearest the observation window includes more than a dozen process tools, including ion implantation systems made by Axcelis Inc. and Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
在靠近RFAB观察窗口,可以看到不少于12台相关操作设备,包括Axcelis Inc. and Varian Semiconductor Equipment Associates制造的离子移植系统
在2009年9月几周内,德州仪器通告300-mm模拟产品晶圆厂将正常营业,当时,Qimonda的设备已经被运到德州的Richardson市,距德州仪器总部和Dallas晶圆厂集中地也就只有几英里。Tom Weichel,RFAB晶圆厂经理。(Weichel说,在RFAB办公室的内部,甚至连家具或办公设施都是来自于Qimonda)。
在上一年,RFAB已经实现全面生产。晶圆厂的所有设施,包括占地25万平方英尺的净化室,目前产能在350片晶圆每天,将在2011年底实现600到700片日均产能,据德州仪器发言人宣称。
未完待续...
原文:Photo gallery: Inside TI‘s RFAB
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