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电子气体空缺巨大 远远满足不了市场需求

⑵国外电子气体企业多为大型跨国公司,具有较强的实力和技术积淀,业务涵盖范围较宽,可以同时为企业打包提供很多气体服务,具有很强竞争力。国内电子气体生产企业与国外大公司相比有较大差距,有着巨大的发展空间。

另外目前国内电子气体发展问题具体表现为:A.产业整体规模不大,国产化率低,企业规模小,缺乏领军型企业,容易被受到国外大企业排挤和打压;B.高端制造方面的新材料技术不足,技术门槛低的气体种类大量重复建设和扩产,无序竞争现象严重;C.部分电子气体企业是从大化工行业或工业气体转型而来,其品质意识、管理理念和安全管理水平不到位,造成个别产品质量稳定性欠佳。

综上所述,我国电子气体目前还属于电子材料发展的短板,需着力发展,因此建议:国家应落实和完善对该类企业的财税、资金等优惠政策支持,加大财政资金、大基金和金融部门的扶持力度,引导集成电路厂家使用国产电子气体,从而帮助企业把握发展机遇,加快企业技术进步和做大做强;企业应努力提升技术创新和管理水平,加强质量管控,用过硬产品为客户服务。

中国船舶重工集团公司第七一八研究所(以下简称:中船七一八所)坚持深度军民融合、持续技术创新,突破技术壁垒,相继研制出高纯三氟化氮、六氟化钨气体和三氟甲磺酸系列产品,并实现规模化生产,填补了国内空白,打破国外企业对三氟化氮、六氟化钨的价格控制,增强了下游产品在国际市场上的竞争力,为国内半导体和液晶面板行业的发展作出了突出贡献。

截止目前三氟化氮、六氟化钨产能近期将分别达9000吨/年、1300吨/年,两个产品生产规模均位居国内第一,世界前三,基本进入了国内所有的半导体、液晶面板及太阳能行业的厂家及全球知名的半导体厂家,例如台积电、格罗方德、海力士、因特尔、东芝、三星、中芯国际、群创光电、京东方、中电熊猫、华星光电等国际国内知名大型半导体厂及液晶面板厂均在使用。现在中船七一八所把握时机,持续做好技术创新,加快产能建设,将在2020年把三氟化氮和六氟化钨产能扩大至16000吨/年、2000吨/年,并致力打造成为世界第一的电子特种气体材料生产服务商。

另外,中船七一八所自2013年国家科技部批准02专项“高纯电子气体研发与产业化”项目立项后,又开始从事SiF4、C2F6、C3F8、C4F8、HF、HCl、COF2等七种电子气体及十种混合气体的研发和产业化工作。目前,上述气体的研制工作已顺利完成,大部分已通过国内知名半导体企业的测试,并积极实现量产。

总之,中国电子气体产业目前仍处于发展的初级阶段,总体产业规模较小,个别企业实力不足,而此时中国半导体产业从之前的千亿扶持计划,到中国制造2025,恰逢新兴增长点的孕育崛起期,因此中国电子气体产业面临着前所未有的发展机遇。希望各电子气体企业加快前瞻布局,加强技术创新,加速应用推广,积极发展壮大;也希望各主管部门、投资单位、半导体企业都能够高度重视,为完善我国集成电路材料和零部件产业链和半导体发展做出新的更大贡献。

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