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新STP-iXR1606涡轮分子泵 气体处理能力增加40%

导读: 真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司推出带有完全集成一体化控制器的STP-iXR1606系列磁悬浮(magnetically-levitated)涡轮分子泵(turbo-molecular pumps,TMP)。

  真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司推出带有完全集成一体化控制器的STP-iXR1606系列磁悬浮(magnetically-levitated)涡轮分子泵(turbo-molecular pumps,TMP)。新型TMP泵包含了革新性的旋转设计,与现有产品相比,在高气体流量下可提高40%的处理能力,并增加接近90%的最大气体流量。

  Edwards的新TMP泵带有完全集成的控制器,省去了非集成控制器通常需要的连接电缆和控制柜。这有助于减少占位面积,为晶圆厂节省宝贵的空间,以及安装时间和成本。此外,该一体式控制器包含了小型电源,与现有产品相比,在处理高流量气体时能够降低32%的能耗。

  Edwards STP 产品经理 Masahide Tanaka称:“新的STP-iXR1606扩展了Edwards行业领先的涡轮分子泵本身已有的较高性能。它的峰值抽速与我们最出色的8英寸TMP泵相匹配,但在处理能力和最大容许气体流量方面则有显著的提高。正如我们所有的磁悬浮TMP,该设备无需维护。STP-iXR1606系列为我们的客户提供了适合所有应用的一体化TMP解决方案,同时能够减少占位面积,简化安装过程并降低能源消耗成本。”

  STP-iXR1606系列具有等同IP54级别的防尘和防潮性能,在多尘环境中提供了高可靠性。新设备具有I/O远程、RS232C、RS485和STP-link标准通信接口,以及提供Profibus和DeviceNet选项。

  Edwards STP-iXR1606 TMP 真空泵现已供应。要了解更多的信息,请访问公司网站:www.edwardsvacuum.com。

  关于Edwards

  Edwards服务于真空科技领域。使用真空科学技术,可以创建纯净的制造环境,能够为真实世界提供产品解决方案。在当今世界中,从智能电话、计算机和汽车等领域的许多芯片,到LED显示器和飞机涡轮叶片,许多产品都以真空技术为制造基础。Edwards总部在英国,在全球各地设有运营机构。凭借真空技术领域的尖端技术和行业领导地位,Edwards能够实现诸多创新技术,这是Edwards的坚实基础。例如,Edwards的真空系统是新型救生药物开发的核心。此外,Edwards在环保方面发挥着重要的作用,通过实施尾气处理系统,防止排放有害温室气体,实现总体碳排放(carbon footprint)为负值*。以产业中不断变化的干泵技术等创新为基础,Edwards继续致力于探索真空工艺的发展潜力。Edwards在全球大约3,000名员工享有一个共同的公司愿景:专注、创新、以及最高标准的制造和服务。

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