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北方微电子单片退火系统进入14纳米工艺验证阶段

导读: 七星电子全资子公司北方微电子推出的Booster A630 plus 单片退火系统,成功进入中芯国际上海先进工艺生产线验证。据悉,这是北方微电子继NMC 612D硅刻蚀机之后,第二台进入14纳米工艺验证阶段的机台。

近日,七星电子全资子公司北方微电子推出的Booster A630 plus 单片退火系统,成功进入中芯国际上海先进工艺生产线验证。据悉,这是北方微电子继NMC 612D硅刻蚀机之后,第二台进入14纳米工艺验证阶段的机台。

目前,世界范围内集成电路产业发展突飞猛进,工艺制程向更加精细化的方向发展,这对14纳米工艺设备提出了更严苛的挑战。随着北方微电子28纳米工艺设备陆续实现商用化,14纳米工艺设备开发也取得了突破性进展。本次推出的Booster A630 plus 单片退火系统,在28纳米技术基础上,通过设计优化,大幅提高了系统洁净度,提升了机台的可靠性。Booster A630 plus 单片退火系统具备双模加热、升温速率高、温度均匀性好及产能大等特点,工艺指标达到国际先进水平。

七星电子方面认为,公司作为中国集成电路高端装备的先行者,将深耕发展,开拓创新,加快先进工艺设备的开发速度,为我国集成电路产业健康发展作好装备配套支撑。

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