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尼康起诉阿斯麦和卡尔蔡司侵权

导读: 尼康昨日宣布,已对荷兰半导体行业光刻系统供应商阿斯麦和德国光学及光电子学设备厂商卡尔蔡司提起诉讼,指控这两家公司未经授权而使用其光刻技术。

尼康昨日宣布,已对荷兰半导体行业光刻系统供应商阿斯麦(ASML)和德国光学及光电子学设备厂商卡尔蔡司(Carl Zeiss)提起诉讼,指控这两家公司未经授权而使用其光刻技术。

尼康称,已在荷兰、德国和日本对阿斯麦和卡尔蔡司提起诉讼。卡尔蔡司是阿斯麦的光学设备供应商。尼康在一份声明中称:“阿斯麦和卡尔蔡司在未经尼康许可的前提下,在阿斯麦的光刻系统中使用尼康的专利技术。”

当前,光刻系统被广泛应用于制造半导体,而阿斯麦又主导着半导体光刻机市场。评级机构“惠誉评级”(Fitch Ratings)今年1月发布的调研报告显示,在高端光刻机市场,阿斯麦的份额高达90%。

尼康在诉讼文件中称,要求阿斯麦和卡尔蔡司对未授权使用专利技术而做出赔偿。

对此,阿斯麦总裁兼CEO彼得·温尼克(Peter Wennink)称:“尼康的诉讼毫无依据,没有必要,为半导体市场制造了不确定性。”温尼克还称,阿斯麦曾多次试图与尼康谈判,希望能对当前的一份交叉授权协议进行延期。

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