侵权投诉
订阅
纠错
加入自媒体

国产14nm传喜讯 中芯国际购买的ASML光刻机顺利入厂

2020-03-07 09:41
快科技
关注

作为国内最大最先进的晶圆代工厂,中芯国际SMIC在疫情疫情期间依然没有停产,同时还在扩大14nm等先进工艺产能。日前羊城晚报报道称,中芯国际进口的荷兰ASML光刻机顺利入厂。

据报道,这次购买光刻机的是中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司,昨天他们从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区

据悉,这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。

中芯国际表示,坪山海关一系列服务措施,保障了设备第一时间进入厂区完成安装进入生产,生产线扩容后全年预计可为企业增加10%左右的营收。

报道没有提及中芯国际购买的光刻机的详情,不过肯定可以排除最新的EUV光刻机,现在进口的应该还是193nm波长的DUV系列光刻机。

国产14nm传喜讯 中芯国际购买的ASML光刻机顺利入厂

ASML的DUV光刻机型号

虽然没有EUV技术,但ASML的沉浸式DUV光刻机依然可以制造28nm到7nm之间的各种芯片,中芯国际此前也表态下两代工艺N+1、N+2(相当于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能)也不会上EUV光刻机。

与EUV光刻机动辄1亿美元以上的售价相比,DUV光刻机要便宜很多,但也要3000-5000万美元,还要有数目不菲的安装服务费用,足以让很多小公司望而却步。

中芯国际没有公布扩产的工艺具体是什么,但99%可能是14nm工艺,这是2020年中芯国际重点中的重点,去年底产能不过1000片/月,今年3月将达到4K,7月达到9K,12月达到15K。

根据中芯国际联席CEO梁孟松的说法,1000片/月的产能就差不多要1亿美元的投入,15K晶圆/月的产能意味着15亿美元的投资

放在以前,这样的投资是不划算的,不过现在这两年情况不同了,中芯国际的14nm及未来的7nm工艺无论如何都是要上的。

国产14nm传喜讯 中芯国际购买的ASML光刻机顺利入厂

作者:宪瑞

声明: 本文系OFweek根据授权转载自其它媒体或授权刊载,目的在于信息传递,并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责,如有新闻稿件和图片作品的内容、版权以及其它问题的,请联系我们。

发表评论

0条评论,0人参与

请输入评论内容...

请输入评论/评论长度6~500个字

您提交的评论过于频繁,请输入验证码继续

暂无评论

暂无评论

文章纠错
x
*文字标题:
*纠错内容:
联系邮箱:
*验 证 码:

粤公网安备 44030502002758号