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一台EUV光刻机,一小时生产多少芯片?

众所周知,当芯片工艺进入到7nm后,就需要一种EUV的光刻机,也称之为极紫外线光刻机,目前全球仅有荷兰的ASML能够生产。

且ASML的产能有限,2015年交付第一台EUV光刻机以来,截止至2020年底,一共才交付了100台,而2021年上半年一共交付16台,也就意味着到目前一共才交付了116台。

一台EUV光刻机,究竟一小时生产多少芯片?ASML说清楚了

2015年时,ASML交付的光刻机型号是TWINSCAN NXE:3400B,到2019年第三季度时,ASML开始交付新一代的EUV光刻机,型号为NXE:3400C。

TWINSCAN NXE:3400B支持7纳米和5纳米节点的EUV量产,NXE:3400B每小时处理晶圆数不低于125片。而新一代的NXE:3400C每小时处理晶圆数不低于170片,可用率超过90%。

今年ASML开始交付新一代的EUV光刻机,型号为NXE:3600D,相比于NXE:3400C,提供15%至20%的生产力改进能力。

一台EUV光刻机,究竟一小时生产多少芯片?ASML说清楚了

那么利用这些数据,我们就可以算一算了。

我们以最基础的,出货量最多的NXE:3400C来计算,每小时处理170片12寸的晶圆,而一片12寸的晶圆面积约是70659平方毫米,而一块华为麒麟9000芯片面积约是100平方毫米。

理论上来讲,如果晶圆100%利用的话,一块12寸的晶圆,可以生产700块麒麟9000,但实际考虑到边角的切割,还有良率的问题,一块12寸的晶圆,能够切割麒麟9000芯片大约在450左右。

一台EUV光刻机,究竟一小时生产多少芯片?ASML说清楚了

所以一台ASML的NXE:3400C EUV光刻机,一小时就可以生产7.65万块麒麟9000芯片,再考虑到90%的可用率,那么也是6.885万块。1天24小时可以生产165.24万块芯片,一个月就是4957.2万片麒麟9000芯片,一年就是5.95亿片。

可见,只要如果我们能够买到一台ASML的NXE:3400C EUV光刻机,不需要最新的NXE:3600D,国内高端芯片的产能基本就能够保证了。

如果买到最新的NXE:3600D,产能能再提升15%-20%,那么类似于麒麟9000这样的芯片,一年就是7亿多块芯片的产能。

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