Cymer
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ASML子公司Cymer最新ArF光源通过ASML扫描仪认证
ASML子公司Cymer是行业领先的EUV大功率光源制造商，日前，该公司宣布其第7代光源XLR 960ix已经通过了ASML NXT:2050i扫描仪的认证。
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