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中芯国际高端芯片研发何时才不会被“卡脖子”?

近日,有韩媒报道,中芯国际董事长周子学日前在韩国访问时表示,ASML与中芯国际之间的光刻机供应问题已解决。对此,中芯国际发布官方声明表示,韩媒发布涉EUV报道违背事实,纯属捏造。

中芯国际:韩媒涉EUV报道不实,强烈谴责

图片源自中芯国际

中芯国际官方声明:

近日,《BusinessKorea》等韩国媒体发布报道,“引用”中芯国际董事长周子学博士在韩国参会时对EUV(极紫外光刻机)事宜的表态。中芯国际对此郑重声明,此类报道违背事实,纯属捏造。周董事长仅参加了本月“中韩工商领袖和前高官对话”内部会议环节,期间并未接受任何媒体采访,在发言中也从未提及EUV事宜。

对于杜撰及传播谣言的媒体和个人,公司表示强烈谴责,将保留诉诸法律追责的权利。

特此声明。

中芯国际集成电路制造有限公司

2019年12月9日

ASML断供中芯国际问题难解

就在上个月,业界就收到了荷兰半导体设备供应商ASML将暂时停止向中芯国际供应EUV(极紫外光刻机)的消息。

作为世界上最重要的半导体供应商,ASML生产的光刻机是芯片制造过程中最重要的设备之一,目前全世界主要的光刻机均为ASML独家研发,在市场上无法找到其他替代品。

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,它的作用是扫描曝光芯片晶圆,刻蚀集成电路。光刻机精度越高,就能生产出尺寸更小、功能更强大的芯片。而EUV(极紫外光刻机),则是以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术,对材料进行加工的高级光刻机。尤其是尺寸小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV(极紫外光刻机)生产。可以说,极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。

在业界爆出ASML断供中芯国际一事时,有消息称是因为光刻机牵涉到全球最高端工艺芯片技术的生产,因此需要拿到政府发放的出口执照和核准,而公司在2019年7月之前就已经提出申请,但出口执照一直未发放从而被动的导致无法将EUV(极紫外光刻机)准时交付给中芯国际,同时还强调无法确定具体的交付时称。

对此,业内有消息人士透露:“ASML是为了避免因供应最先端设备给中国、因而刺激到美国,因此决定暂时中止交货”。消息人士还补充表示:“但与此同时,ASML不想让中国客户感到不安,因为那里是其增长最快的市场。”

高端芯片研发被“卡脖子”

断供一事对中芯国际来说无疑是损失巨大。早在2018年中芯国际就宣布以1.2亿美元向ASML订购了EUV(极紫外光刻机),为其研发7nm以下工艺做准备,原本预计2019年交付,如今接近年底也迟迟未见光刻机的踪影。

据悉,目前中芯国际以9nm的量产为主,大部分集中在中低端芯片领域。随着高端芯片技术的崛起,芯片尺寸逐渐进入7nm时代。在7nm 及以下制程中,EUV光刻机是最重要的生产设备。ASML 延迟交付EUV光刻机,将对中芯国际先进制程的研发造成重大影响。

目前,全球知名半导体厂商中,三星、台积电、格罗方德、联电都已经从ASML购买到了光刻机设备。在芯片研发工艺上,台积电的7nm工艺已经成熟且被许多厂商采用,5nm工艺也进入量产阶段,最快将于2020年第一季度量产,台积电还开始了3nm工艺的研发进程,甚至计划在2024年实现2nm工艺的量产。而三星的进展同样迅速,不仅开始了7nm芯片的量产,在近日曝光的三星芯片代工计划中,5nm/4nm工艺芯片都将接踵而至。断供事件会严重影响中芯国际高端芯片进程,追赶三星台积电的难度也会加大。

在ASML去年的营收占比中,中韩两国的市场份额超过一半。中国市场占据了ASML将近20%的营收,仅次于韩国市场的35%,美国市场占据了ASML营收的16%。随着国内芯片厂商群体的日益壮大,ASML定然也不想失去这庞大的中国市场。如今,虽然我国芯片研发制造产业发展虽快,但与世界尖端还有着一定的距离,尤其是在核心设备环节任重而道远。

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