ASML的“末日狂欢”：EUV光刻机，难有下一代，未来没了

2024-02-21 17:19

2023年，是ASML狂欢的一年，这一年卖出了276亿欧元的光刻机，同比增长30%，而净利润为78亿欧元，同比增长43%，毛利率高达51.3%。

2023年这一年，ASML卖出了53台EUV光刻机，125台浸润式DUV光刻机，32台普通干式DUV光刻机，184台KrF光刻机，55台L-line光刻机，所有类型的光刻机，都比2022年销量多。

而对于2024年，ASML不乐观表示预计和2023年差不多。

事实上，2024年，理应是ASML大量发展的一年，为何预计却不会再有什么增长呢？原因在于ASML的EUV光刻机，已经发展到极限，难有下一代了，前路已经被堵了。

目前ASML最大的营收来源，其实是靠EUV光刻机，2023年为例，53台EUV光刻机，每台1.8亿美元左右，这里就贡献了近100亿美元，三分之一啊。

现在主要销售的EUV光刻机，是NA=0.33的光刻机，NA也称之为数值孔径，也称之为Low-NA系统，因为0.33是低数值孔径。

这种光刻机，能实现26nm的最小金属间距和25-30nm尖端到尖端的近似互连空间间距，比较理想的，是实现3nm的芯片制造。

而NA=0.55的光刻机，数值孔径变大了，称之为Higt-Na系统，可以实现16nm的最小金属间距，可实现2nm以下制程节点，甚至达到1nm。

不过这种NA=0.55的光刻机，成本高昂，达到了3.8亿美元去了，相比上一代贵了一倍，同时ASML表示，目前产能还很差，一年也就只能生产不到10个出来，所以ASML并不是特别看好它，毕竟目前的0.33NA的光刻机，也能生产2nm芯片。

而制造3nm的芯片厂，才2家，大家原有的EUV光刻机不会淘汰掉，现在NA=0.55的光刻机，肯定销量不会特别好，所以对2024年并不是很乐观，觉得能够维持住2023年的营收，就不错了。

事实上，对ASML而言，更大的麻烦，还在后头，因为当NA提升至0.55后，数值孔径，可能就达到极限，无法再提升了。

至于其它提高EUV光刻机分辨率的方向，比如降低光源波长，提高光刻工艺因子等，基本上都达到了极限，短时间之内无法提升了。

所以在去年，主管技术的ASML的联席CEO表示，接下来ASML的EUV光刻机，很难再有进步了，NA=0.55的这种EUV光刻机，或许是最后一代，他于2024年也要退休了。

那么，一旦EUV光刻机，无法再更新换代，ASML就陷入了“末日狂欢”之中了，也许眼前还能大卖，但未来呢？

当然，也有人觉得，或许EUV光刻机还能够前进，只是目前还没看到方向而已，但这种看不到方向，是企业的最大不确定性，没有确定性就没有未来，企业怎么办呢？

原文标题 : ASML的“末日狂欢”：EUV光刻机，难有下一代，未来没了

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