近日，肖特集团，Inkron公司，EV集团（EVG）和光波导元件厂商波光（WaveOptics）在2020美国西部光电展上展示了全球首个在玻璃基板上制成的折射率为1．9、结合纳米树脂结构的波导片。该波导片的生产基于一个300mm晶圆上完成，此晶圆现已可批量生产。

图片来自EVG

德国肖特现推出折射率为1．9，直径为300 mm的肖特RealView＆trade；高折射率玻璃晶圆。 此晶圆的批量生产为下一代AR波导片的量产提供了基础，在保证AR所需的极高精度标准的同时，单位成本更低。纳米技术公司Inkron所生产的树脂折射率为1．9，凭借全集成和体量验证的EVG HERCULES＆reg； NIL纳米压印工艺平台，该树脂可在单个300 mm SCHOTT RealView＆trade；1． 9晶圆上压印多达24个波导片。此产品融合了高性能波导光学设计公司WaveOptics提供的先进的波导结构，肖特的专业光学玻璃制造经验，Inkron的创新树脂配方与EVG的标准纳米压印工艺（NIL）。

在美国旧金山，2月1日至6日期间举办的2020美国西部光电展，肖特及其合作伙伴将会在展会上展示RealView＆trade；高折射率玻璃晶圆 ——肖特（841号展位），Inkron（5279号展位）和WaveOptics（演示厅8号展位）。

图片来自肖特

肖特RealView＆trade；高折射玻璃晶圆系列适用于增强现实（AR）和混合现实（MR）设备：300mm晶圆可提供高达65°的广阔视野，配有1．9折射率更实现了沉浸感极高的用户体验。

更大尺寸的晶圆，1．9的高折射率，可与光学树脂结合

“市场对与高折射树脂相结合的高折射玻璃一直都有很高的需求。肖特携手合作伙伴Inkron再一次为先进波导的基础设备提供了最先进的解决方案。” 肖特增强现实领导人Ruediger Sprengard博士说。“最新一代的肖特 RealView＆trade； 光学玻璃性能可以与高折射树脂相结合，并能满足EVG 的NIL工艺实现批量生产的要求，我们已经可以开始下一代视场波导片的制造了。”

在2020美国西部光电展上，各公司将首次公开展示为大规模生产宽视场角设备所做出的努力。高折射率玻璃和树脂的这种新组合在300mm晶圆上的应用并证明了300mm玻璃与树脂的兼容性，为低成本的AR波导制造系统奠定了基础。

消费级AR设备之路的下一个里程碑

“与合作伙伴Inkron和EVG联手，这标志着我们朝着满足消费者市场方向迈出了重要一步。一方面，我们用性能卓越的产品对AR玻璃晶圆进行不断创新。“肖特AR创新经理Frederik Bachhuber博士说： “另一方面，我们与强大的伙伴合作，为这些零件赋予了 “光学生命” ，而且马上可实现批量生产！”

在EVG的NIL光子学技术中心，便使用其专门的晶圆加工设备制造演示器。该演示器中包括EVG最近推出的HERCULES＆reg；NIL 300 mm全模块化和具有SmartNIL＆reg； 技术的集成式UV－NIL系统，可在直径最大为300 mm的基板上复制结构。Inkron的高RI树脂IOC－133具有高折射率（1．9）、出色的可加工性和光学性能。这些材料特征与肖特 RealView＆trade；基板以及EVG的专业工艺相结合，为WaveOptics的波导设计奠定了坚实的基础。

WaveOptics是衍射波导的领先设计者和制造商，它提供的波导技术平台具有最宽的视场范围（对角线在15°和60°之间），以及最大尺寸的眼罩，可定制以满足客户的各种需求。肖特也为业界提供最广泛的产品组合，从直径为100，150， 200，到300mm的晶圆，可分别实现从1．5到1．9不等的折射率。

值得一提的是，肖特的RealView＆trade；玻璃晶圆被国际信息显示协会（SID） 评为2019年显示行业年度最佳显示组件奖。

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