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晶盛机电:首台 12 英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶

2021-07-22 10:14
IT之家
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IT之家 7 月 21 日消息 据晶盛机电发布,7 月 20 日,晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台 12 英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗 12 英寸硅单晶。

这是继 2020 年 8 月国内首台 8 英寸硬轴直拉炉生长出 8 英寸硅单晶之后,又一次在半导体级硅单晶生长装备上取得的重要技术进展,为国内大硅片行业技术升级提供了装备保障。

官方介绍,研发团队在巩固原有技术的基础上,解决了硬轴单晶炉高真空、高精度及传动过程震动消除等诸多技术难题,实现了高稳定性晶体生长环境,为 12 英寸硅单晶体内微缺陷控制和径向均匀性提高提供了技术支撑。

晶盛机电称,依托两项国家科技重大 02 专项课题(“300mm 硅单晶直拉生长装备的开发”和“8 英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”),专注于半导体硅单晶生长装备研发,相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项国际领先技术。

来源:IT之家

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