华懋科技：徐州博康具备ArF光刻胶的技术能力

2022-02-24 17:04

2月24日消息，有投资者在投资者互动平台提问：徐州博康的Arf产品进展情况如何？可以介绍一下旗下的相关产品不？

华懋科技2月24日在投资者互动平台表示，徐州博康具备干法ArF光刻胶及湿法ArF光刻胶的技术能力，产品种类涵盖了L／S及C／H两类光刻胶。干法ArF产品HTA13X及HTA12X系列可应用至90nm／65nm／55nm工艺节点，湿法ArF产品HTA11X系列可应用至40nm／28nm工艺节点。

此外，徐州博康已经具备半导体光刻胶树脂研发、生产体系，已经成功开发出50多款半导体光刻胶树脂，目前旗下光刻胶产品用树脂全部属于自供。

据公开资料显示，徐州博康位于江苏省邳州经济开发区，是集研发、生产、经营中高端光刻胶、光刻胶单体和光刻胶树脂为主的国家高新技术企业，也是目前本土企业中，唯一可以规模化生产中高端光刻胶单体材料的制造商。公司自成立以来一直专注于高端精细化工领域医药中间体和高端电子化学品的研发、生产，目前现有职工100多人，其中专业技术人员50人，建有3000m2研发中心，已获得十多项发明专利，先进的分析检测设备，完备的中试设备，标准化的生产车间。企业拥有自己的核心技术研发团队、中试放大团队及生产团队，并通过专业化的流程管理来控制产品质量。

徐州博康专注于光刻胶原材料到成品的自主研发及生产，实现了从单体、光刻胶专用树脂、光酸剂及终产品光刻胶的国产化自主可控的供应链；拥有5000平方研发中心，位于松江漕河泾科技绿洲，研发团队200余人，博士和硕士占比50％以上。配置有KrFNikonS204、I9、I12、ACT8track、日立CDSEM等先进光刻检测设备，以及其它理化检测设备如ICP－MS、HPLC、GC、IR等。

徐州博康产品线涵盖193nm／248nm光刻胶单体、193nm／248nm光刻胶、G线／I线光刻胶、电子束光刻胶等产品。目前已成功开发出40＋个中高端光刻胶产品系列，包括多种电子束胶，ArF干法光刻胶，KrF正负型光刻胶，I线正负型光刻胶及GHI超厚负胶，应用于IC集成电路制造多个环节，服务客户超100家。

今年6月，徐州博康被列入建议支持的国家级专精特新“小巨人”企业。在产业资本和政府的支持下，徐州博康新建年产1100吨光刻材料及1万吨电子溶剂新工厂已于2021年6月份正式投产，项目全部达产后，可实现年产值20亿元，这也是中国目前第一个可以规模化生产中高端光刻胶的生产基地。