光刻机风起云涌:ASML研发难,中俄在创新,日本不服输
作为芯片制造中,最重要的核心设备,光刻机一直倍受大家关注。
原因就是整个光刻机市场,是ASML一家说了算,特别是EUV,全球只有ASML一家能够制造,所以全球所有的芯片制造厂商,都得找ASML。
也正因为这样,美国控制了ASML,就相当于掌控了全球芯片制造产业。

在这样的背景之下,大家都想研发出自己的光刻机出来,特别是中国、俄罗斯这样的国家。
而从目前的情况来看,整个光刻机市场也是风起云涌,接下来可能会迎来剧变。
一是ASML研发难,目前已经到了瓶颈了,ASML目前研发出了第二代EUV,也就是NA=0.55的 High NA EUV,支撑2nm乃至1nm制程。

而按照技术演变,接下来ASML要研发Hyper NA EUV(NA= 0.77),但是NA=0.77的EUV光刻机,ASML自己都没有把握。
因为NA每提升0.1都困难,现在要从0.55提升至0.77,ASML自己都说未必能够研发的出来,且研发出来后,成本也高很离谱,所以能不能全面商业化,也是个大问题。

而中国、俄罗斯则在创新和突破,中国一方面在研发EUV光刻机,但与此同时在NIL纳米压印、EBL电子束技术上也在不断的突破,而这两块如果有突破的话,是可以替代EUV光刻机的。
俄罗斯则是在尝试X射线技术,也想绕开EUV光刻机方案,俄罗斯甚至还定了一些目标,要在2030年前搞出可以替代EUV光刻机的产品,至于行不行,谁也不清楚。

另外日本也不认输,日本作为半导体材料、设备强国,在光刻机上其实也有佳能和尼康这两大巨头,曾经它们是光刻机王者,只是后来被ASML超过了。
佳能也有了NIL纳米压印机,据称能实现5nm芯片的制造,已被用于制造存储芯片。
可见,现在整个光刻机市场,正面临着变盘前的大浪,就看谁先研发出先进的光刻机出来,那么整个形势就会大变。
原文标题 : 光刻机风起云涌:ASML研发难,中俄在创新,日本不服输
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