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被日限售一年后，用于半导体生产的氟化氢在韩国实现量产
2020-06-19 14:22
21IC电子网
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韩国SK Materials周三表示，已启动用于半导体生产工序的氟化氢气体的量产。
据报道，SK Materials已在韩国东部的荣州市的工厂启动量产。该公司表示，实现量产的氟化氢气体达到被称为“five nine（5个9）”的纯度，即99．999％。虽然品质仍低于日本原材料厂商此前出口的11个9这一超高纯度的“Eleven Nine”，但在半导体晶圆的清洗等一部分生产工序已开始使用。
21ic家注意到，日本去年7月开始限制三种高科技材料对韩国的出口，直接影响到了韩国经济的支柱产业－半导体制造。作为半导体制造大厂，三星电子和SK海力士极度依赖日本的原材料供应，日本的限售对韩国的半导体产业影响巨大，为此，韩国企业寻找代替供应企业，韩国的材料厂商也获得政府支援，一直在加快相关材料的国产化。短短一年时间，韩国企业就实现了量产，化解了限售危机。
SK Materials在日本加强对韩出口管理之后，于2019年11月建立了相关材料的开发中心。在充分利用SK海力士设立的基金资金的同时，一直推进实现氟化氢量产化的研发。目前已使全年15吨规模的生产设备投入运行，计划到2023年将韩国国内半导体生产所用的氟化氢的国产化比率提高至70％。
日本的氟化氢相关厂商会有何感想呢？
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