在供给有限的情况下，市场对8英寸晶圆需求旺盛，因此对制造晶圆的设备需求也日益增长，从而让整个半导体市场开始重新审视8英寸晶圆线的投资与价值。虽然主流工艺走到了12寸，但既然市场对8英寸的需求有增无减，那么设备厂商是否一定要坚守12英寸市场，而无视8英寸市场的巨大需求呢？

文︱郭紫文

图︱ASM INTERNATIONAL

受疫情影响，全球数字化进程发展迅速，半导体芯片需求旺盛，进而刺激了半导体设备市场的强劲增长。根据美国半导体产业调查公司VLSI公布的2020年半导体设备厂商销售量排行榜显示：2020年，半导体销售额高达924亿美元（约人民币6035亿元），同比增长18％。其中，较之2019年排名情况，ASM INTERNATIONAL表现亮眼，跻身全球前十大半导体设备厂商之列。

图：2020年半导体设备厂商销售量排行榜

ASM INTERNATIONAL中国区总经理徐来表示，从2016年开始，ASM INTERNATIONAL的营业额年增长均为两位数以上。2018年和2019年增长最快，高达37％。相较于2019年，2020年ASM INTERNATIONAL总营收超过13亿欧元，增长了18％，总体呈现不断上升的趋势。这主要得益于中国半导体市场的迅猛增长，以及ASM INTERNATIONAL在全球先进逻辑制程市场不断增长的市场份额，尤其是中国市场，ASM International 中国获得了3 年10 倍增长的亮眼成绩。

图：2020年ASM INTERNATIONAL总营收增长18％

ASM INTERNATIONAL的业务中心和研发中心分布在全球七个地区，包括欧洲两个研发中心。日本和韩国两大事业部主要经营PEALD（增强等离子原子层沉淀）和PECVE（化学气相沉积）。炉管设备设计中心设在荷兰，美国有Epi和热传导相关的ALD。

“随着业务的增长，我们不再因为工厂的面积、生产能力而受限制。现在就整个供应链来讲，主要还是受制于零部件的交期，我们供应交期的时间也是根据每个月、每个季度供应链的交货情况所决定的。”徐来表示，工厂生产能力方面不会是ASM INTERNATIONAL的瓶颈。

2020年，ASM INTERNATIONAL在原子层沉积（ALD）领域仍然独占鳌头，成为全球最大、占有率最高的ALD设备供应商。另外，在外延生长（Epi）、增强等离子体化学气象沉积（PECVD）和立式炉管设备等领域，ASM INTERNATIONAL也斩获颇多。

徐来指出，作为ASM INTERNATIONAL的拳头产业，ALD占据了其设备收入的一半以上，所有设备均在国内有一定装机量。其中，Pulsar占比最高，在目前市场上占有率为100％。

“ASM INTERNATIONAL的ALD设备分为两类，一类和热相关，另一类和等离子相关。据VLSI调查数据显示，我们的单晶圆ALD在2019年全球市场份额中占53％。随着ALD收入呈两位数显著增长趋势，我们相信ASM INTERNATIONAL将在2021年依然保持领先地位。”

图：ASM INTERNATIONAL部分ALD设备

Epi在过去几年是非常热门的话题，ASM INTERNATIONAL为国内客户提供了更好的选择。外延生长是指在单晶衬底上生长一层新单晶层，外延生长的新单晶层可在导电类型、电阻率等方面与衬底不同，还可以生长不同厚度和不同要求的多层单晶，从而大大提高器件设计的灵活性，改善材料质量和器件性能。徐来提到：“讲到外延生长，厚外延技术是ASM INTERNATIONAL最领先的技术，该技术为ASM INTERNATIONAL扩大了中国市场。”

图：ASM INTERNATIONAL Epi系列设备

立式炉管是ASM INTERNATIONAL很早就开始涉及的领域，囊括了从6英寸到12英寸的所有需求，在最近三年开始有缓慢增长之势。其中200mm（8英寸）晶圆机型的装机量在过去两年里增长尤为迅速。

近年来，随着5G、物联网、人工智能、自动驾驶等技术的迅速发展，全球数字化进程加速，电子产品需求增加，进而推动了半导体市场成长。2020年全球爆发的新冠疫情加速了远程办公的普及速度，手机摄像头、电源芯片、指纹识别等产品需求大幅攀升，这些产品在8英寸晶圆上更具优势。因此8英寸晶圆产品线供需态势扭转，开始出现产能紧缺的情况。

在供给有限的情况下，市场对8英寸晶圆需求旺盛，因此对制造晶圆的设备需求也日益增长，从而让整个半导体市场开始重新审视8英寸晶圆线的投资与价值。虽然主流工艺走到了12寸，但既然市场对8英寸的需求有增无减，那么设备厂商是否一定要坚守12英寸市场，而无视8英寸市场的巨大需求呢？

ASM INTERNATIONAL适时推出了新型8英寸设备，自2018年A400首次投入市场之后，ASM INTERNATIONAL迅速打开了国内市场，主要客户包括功率器件和MEMS（微机电系统）厂商。本次ASM INTERNATIONAL在SEMICON 2021发布会上介绍的200mm新机型A400D，提供一系列全面的工艺应用，包括低压化学蒸汽沉积（LPCVD）工艺，如掺杂硅和氮化硅薄膜、扩散过程（如湿氧化和退化工艺）。

图：ASM INTERNATIONAL A400D 200mm晶圆设备

ASM INTERNATIONAL全球产品执行副总裁Hichem M＇Saad表示：“A400D设备可以确保ASM INTERNATIONAL扩大其在电力、模拟、RF和MEMS应用市场领导者的地位。随着200mm制造开始复兴，在IoT设备等增长的推动下，我们现有的立式炉管技术显然仍能取得行业领先成果。将我们的技术与机器人和控制方面的最新创新相结合，显著增强了系统的制造能力，以实现当今的生产目标。”