【聚焦】半导体匀气盘属于半导体设备零部件晶圆加工领域为其最大需求端

2024-01-19 15:36

目前，我国已成为全球铝合金生产及出口大国，产品在满足本土市场需求的同时，远销海外众多国家。原材料优势将为我国半导体匀气盘行业发展奠定良好基础。

半导体设备零部件种类丰富，主要包括金属结构件、真空泵、腔体、匀气盘、喷淋头、压环、气柜模组等。半导体匀气盘为半导体气路系统核心零部件，具备耐高温、耐腐蚀等特性，通常由芯片和圆形金属盘构成，可用于半导体刻蚀工艺中，对于半导体产品质量及性能起到决定性作用。

半导体匀气盘主要原材料为金属材料，包括不锈钢、铝合金等。不锈钢和铝合金为大宗商品，我国供给量较为充足。以铝合金为例，据国家统计局数据显示，2022年我国铝合金累计产量达到1218.3万吨，同比增长13.9%。目前，我国已成为全球铝合金生产及出口大国，产品在满足本土市场需求的同时，远销海外众多国家。原材料优势将为我国半导体匀气盘行业发展奠定良好基础。

半导体匀气盘属于半导体设备零部件，其生产流程包括化学清洗、电镀镍、喷砂、电子束焊接、高精密微孔制造等。半导体匀气盘行业技术壁垒较高，需采用高精度焊接工艺，以防止内漏。与海外发达国家相比，我国半导体匀气盘行业起步较晚，具备高质量产品生产实力的企业数量极少，需求高度依赖进口。

根据新思界产业研究中心发布的《2023-2028年半导体匀气盘行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，晶圆加工领域为半导体匀气盘最大需求端，其可用于加工8英寸晶圆以及12英寸晶圆。随着全球半导体产业逐渐向我国转移，国产晶圆产能持续扩张。2022年我国12英寸晶圆产能到达近150万片/月，创造历史新高。预计未来一段时间，伴随国家政策支持以及本土企业持续发力，我国晶圆行业景气度将进一步提升，届时半导体匀气盘市场需求将进一步增长。

全球半导体匀气盘主要生产商包括日本富士金阀门公司（Fujikin）、美国SWAGELOK等。在本土市场方面，富创精密为我国半导体匀气盘代表企业，其专注于半导体工艺零部件、气体管路的研发、生产及销售。据富创精密企业半年报显示，2023年上半年，公司半导体工艺零部件业务实现营收2亿元。

新思界行业分析人士表示，随着半导体行业发展速度加快，我国半导体匀气盘应用需求持续增长。目前，受技术壁垒高等因素限制，我国半导体匀气盘高度依赖进口，市场国产替代空间巨大。未来伴随本土企业持续发力，我国高端半导体匀气盘市场占比将有所提升。

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