中国光刻机行业主要上市公司:芯源微(688037)、华特气体(688268)等。

本文核心数据:全球EUV光刻机销量、全球EUV光刻机销售额等

1、EUV光刻机于近十年间兴起

随着半导体技术的更新换代,光刻机也从最开始的g线(436nm)逐渐发展为近十年间兴起的EUV光刻机,从接触式向接近式,最后演变成步进式为主。EUV光刻机,又称极紫外线光刻机,是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响,其中,小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。

2、供应链庞杂、设备运输耗时耗力

光刻机是技术壁垒极高的产品,而EUV光刻机制造更是“难上加难”,不仅体现在技术设计方面,还在于零部件供应,一台顶尖的EUV光刻机包含了10万多个零部件,全球供应商超过5000家,从光刻机的结构分析来看,美国光源占27%,荷兰腔体和英国真空占32%,日本材料占27%,德国光学系统占14%。因此,仅从零部件供应来说,光刻机涵盖的产业链就十分庞大。

同时,从运输成本上来说,EUV光刻机体积十分庞大,一台顶级的EUV光刻机重大180吨,需要40个集装箱来运输,仅安装调试的时间就需要一年左右。

3、EUV光刻机单台价值高达1．5亿欧元

由于EUV光刻机的高技术壁垒,也造就了其高价值特征。当前,全球仅有荷兰的ASML公司有能力生产EUV光刻机。

根据该公司的EUV光刻机售价显示,2018年以来,该公司的EUV光刻机价格也不断上扬,2021年7月4日,约为1．54亿欧元/台,折合人民币11．7亿元(以1欧元兑7．6元人民币换算)。

4、从巨头“ASML”窥探全球EUV光刻机市场

——ASML垄断全球EUV光刻机市场

当前,全球仅有荷兰-ASML公司可生产EUV光刻机,该公司于1997年加入了有英特尔和美国能源部牵头组建的EUVLLC前沿技术组织,享受EUVLLC的研究成果大大加快了ASML的EUV研发速度;2010年,公司向一家亚洲芯片制造商的研究机构运送了第一台极紫外(EUV)光刻工具原型(NXE:3100),标志着光刻新时代的开始;2020年,公司的EUV光刻机进入大批量生产,也为全球唯一一家能量产EUV光刻机的公司。

——EUV光刻机销量迅猛增长,2020年达31台

从ASML-EUV光刻机的销售情况来看,2015-2020年,EUV光刻机销量由1台提升至31台,销售额也从0．7亿欧元增长至44．64亿欧元,呈高速增长态势。2021年上半年,据公司公布的二季度业绩信息显示,公司已销售了16台EUV光刻机,总价值达24．56亿欧元。

从不同光刻机的销售比重来看,2020年,EUV光刻机的销售额占比达43%,已成为公司第一大销售产品。

——EUV光刻机主要销往亚太地区、台积电成最大买家

从公司营收的区域分布情况来看,2018-2020年,公司在中国台湾地区的销售份额总体提升,在韩国的销售份额有所下降,在中国大陆的销售份额维持在15%左右。可以看出,ASML的光刻机主要销往了亚洲地区:

具体从EUV光刻机的购买商情况来看,2018-2020年,台积电购买的EUV光刻机最多,合计达41台,其次是三星、英特尔。而在中国市场,暂未有1台EUV光刻机购入,而中国在2018年的时候就已经向荷兰ASML公司采购了光刻机,花费1．2亿美元并且等待了两年,但至今都还没有收到货。

——未来发展方向:从0．33向0．55推进

关于EUV光刻机未来的发展方向,当前ASML正在探寻从0．33向0．55推进,预计首批High-NA设备(0．55NA)将于2022年下半年交付。

来源:前瞻产业研究院