TCAD基础知识介绍
2022-02-21 11:42
光电子技术和芯片知识
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TCAD相信很多人都用过，很多人说做工艺指导还行，信它就可能把片子玩飞了。TCAD在工艺仿真上有它一定的局限性，毕竟工艺过程总环境、物料、人的影响很大。作为器件仿真还是值得学习一下。
TCAD就是Technology Computer Aided Design，指半导体工艺模拟以及器件模拟工具，世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas，Synopsys公司的TSupprem和Medici以及ISE公司（已经被Synopsys公司收购）的Dios和Dessis 以及Crosslight Software公司的Csuprem和APSYS。此外还有维也纳TCAD GlobalSolution公司的TCAD套件，以及新加坡Cogenda公司的VisualTCAD套件。
TCAD流程：
怎么设计元件，怎样做元件的模拟？
第一条路：DeckBuild －＞ command file －＞device simulator
第二条路：process simulator －＞structure files －＞device simulator
使用TCAD原因：
减少开发成本：ITRS roadmap表明，TCAD仿真可以将开发周期的成本降低30％左右。
内部物理过程可视化：你可以看到设备内部。测量告诉你发生了什么，而不是为什么它发生，TCAD提供了为什么答案。
谁用TCAD ：
Foundries 和 Integrated Device Manufacturers
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