9月1日起，浸润式光刻机受限？ASML：今年内中国客户随便买

2023-09-04 08:57

众所周知，荷兰之前公布了一个半导体设备的禁令，表示NXT:2000i光刻机，以及更先进的光刻机，是不能卖给中国的，除非拿到许可证。而这个禁令将于9月1日执行。

所以从9月1日起，很多人就表示，接下来国内的晶圆厂可能有点难受了，因为只能买到NXT:1980Di这一款浸润式光刻机了，比它更先进的都不能买，包括EUV。

不过针对这一情况，ASML直接进行了否认，表示2023年内，所有的DUV光刻机，包括NXT:2000i以及更先进的NXT:2050i、NXT:2100i，都能够卖给中国。

而为什么ASML能够无视禁令呢？ASML表示，之前ASML就向荷兰政府申请了许可证，而这个许可证的有效期是覆盖2023年内的，但是从2024年1月1日开始，就失效了，到时候ASML就不能将NXT:2000i及更先进的光刻机卖给中国了。

那么这对中国的晶圆厂，有多少影响么？

说真的，其实影响不大，目前ASML在售的四款浸润式光刻机，分别是NXT:1980Di、NXT:2000i、NXT:2050i、NXT:2100i，数字型号越大机器越先进。

但从参数来看，不管是NXT:2000i，还是NXT:1980Di，或者更高级的NXT:2050i、NXT：2100i，他们的分辨率都是38nm，数据值孔径都是1.35NA，波长都是193nm，经过水的折射后，等效于134nm。

所以理论上，大家能够制造的芯片工艺是一致的，只是晶圆处理速度不一样，这个影响的是产能，但工艺影响不大。

同时浸润式光刻机，最高是能够制造7nm工艺的芯片，不管是相对落后一点的NXT:1980Di，还是最先进的NXT:2100i，最高也都只是达到7nm，也都能达到7nm工艺。

所以中国晶圆厂，不管怎么买，都可以最高实现7nm，同时也无法进入5nm的，因为5nm是需要EUV工艺，这是绕不开的。

更重要的是，既然还有这么多时间，ASML说可以销售，那么国内有需求的厂商也会想办法囤一些最先进的DUV光刻机，以保证接下来一段时间之内的使用。

所以对于这个禁令，大家真的不必太过于担心，除非说所有浸润式都不能销售，只能卖Dry，也就是干式光刻机，那样影响就真的大了。

原文标题 : 9月1日起，浸润式光刻机受限？ASML：今年内中国客户随便买

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