ASML向中国客户交付EUV再次延迟：这次又是什么原因？

2020-04-02 09:59

没有EUV光刻机的中芯国际该怎么办？

根据ASML公告的消息，不难猜测所谓的中国客户其实就是中芯国际，因为目前只有中芯国际在武汉有一座12英寸晶圆厂，而国内也只有中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机。

早在2018年，中芯国际与ASML正式达成了首台EUV光刻机采购订单，价值约1．2亿美元，原计划2019年底交付，但是却迟迟未收到荷兰政府发放的出口许可证，导致一直未能按时交付。外界都认为，这是受到了美国政府的干预。荷兰政府否认了这一说法，而ASML表示，无论有无EUV光刻机销售许可证，都希望对华继续供应半导体设备，并希望2020年增加其产品在中国市场的销售份额。

原本中芯国际计划在7nm及以下制程使用EUV光刻机开展，但目前情况来看中芯国际7nm的问世可能又要推迟不少时间。不过中芯国际方面倒也传来不少好消息，前段时间中芯国际联席CEO梁孟松首次公开了中芯国际的N＋1、N＋2工艺的进展情况。

相比于14nm，N＋1工艺性能提升了20％，功耗降低了57％，逻辑面积缩小了63％，SoC面积减少了55％。N＋2工艺面向高性能，成本也会增加。这两种工艺在功耗上表现差不多，区别在于性能及成本。总结来说就是N＋1、N＋2工艺分别相当于7nm工艺的低功耗、高性能版本。

梁孟松也表示，在当前的环境下，N＋1、N＋2代工艺都不会用EUV工艺，等到设备就绪之后，N＋2之后的工艺才会转向EUV光刻工艺。这也意味着，N＋1、N＋2工艺或许会在原有的DUV工艺情况下进行研发，即是目前没有EUV光刻机，也能完成。

据中芯国际3月31日发布的财报数据来看，2019年的收入为3115．7百万美元，相比二零一八年的收入为3360．0百万美元。不含阿韦扎诺200mm晶圆厂于2019年及2018年的贡献及2018年技术授权收入确认的影响，2019年的销售额由2018年的2973．1百万美元增加1．4％至3014．0百万美元。

在先进制程研发方面，中芯国际第一代14nm FinFET技术已进入量产，在2019年四季度贡献约1％的晶圆收入，预计2020年稳健上量。第二代FinFET技术平台持续客户导入。公司将基本功做扎实，多元化开发客户，把握5G、物联网、车用电子等产业发展机遇。

虽然EUV光刻机交付再次受到延迟，具体原因到底是因为疫情还是因为美国，我们也是无需多加猜测。近期中芯国际还向泛林（半导体行业的创新晶圆制造设备及服务的全球供货商）提交一系列用于生产晶圆的产品订单，总金额达3．97亿美元（约合人民币28亿元）。虽然订单的具体细节尚未披露，但是也不难看出中芯国际坚定发力芯片先进制程的决心。

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