Leti
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2019 IEDM:IBM和Leti
BM和Leti在IEDM上发表的关于Nanosheet的工作进展:改进蚀刻工艺,基于偶极子的Vt控制,在叠层下引入介电层降低寄生电容以及对纳米片叠层中应力的理解,以使Nanosheet架构朝着量产迈进。应力会影响载流子迁移率,进而影响器件性能,因此也是未来工艺优化的关键。
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