德州仪器300-mm RFAB晶圆厂内部首曝光【上】
2011-07-04 15:26
来源：
OFweek电子工程网
正在走向全面生产
The area of RFAB nearest the observation window includes more than a dozen process tools， including ion implantation systems made by Axcelis Inc. and Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
在靠近RFAB观察窗口，可以看到不少于12台相关操作设备，包括Axcelis Inc. and Varian Semiconductor Equipment Associates制造的离子移植系统
在2009年9月几周内，德州仪器通告300-mm模拟产品晶圆厂将正常营业，当时，Qimonda的设备已经被运到德州的Richardson市，距德州仪器总部和Dallas晶圆厂集中地也就只有几英里。Tom Weichel，RFAB晶圆厂经理。（Weichel说，在RFAB办公室的内部，甚至连家具或办公设施都是来自于Qimonda）。
在上一年，RFAB已经实现全面生产。晶圆厂的所有设施，包括占地25万平方英尺的净化室，目前产能在350片晶圆每天，将在2011年底实现600到700片日均产能，据德州仪器发言人宣称。
未完待续...
原文：Photo gallery： Inside TI‘s RFAB
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