罕王集团投资30亿兴建MEMS晶圆厂

2012-05-09 16:14

　　罕王集团（中国沈阳）是一家位于中国东北的矿业和金属加工集团公司，该公司正在兴建一个生产微机电系统（MEMS）的大型晶圆厂。

　　罕王集团打算生产惯性传感器和硅膜麦克风，这两种产品在中国都有旺盛的需求。该公司也在讨论生产胎压传感器和用于医疗应用的微流体MEMS。中国目前生产的大量电子设备所使用的MEMS器件，几乎全部需要进口。因为不用缴纳关税和劳动力成本较低，罕王MEMS器件的成本将低于进口产品，所以罕王应该能够在中国系统生产商中找到买家。

　　为了实现上述目标，罕王集团成立了合资子公司Hangking Electronics Co.，Ltd，并聘请MEMS产业资深人士Doug Sparks 担任执行副总裁帮助实施相关计划。Sparks 直接向子公司总裁兼首席执行官黄向向报告。

　　“晶圆厂2012年3月动工兴建，位于沈阳以东40英里左右的抚顺。工厂将坐落在抚顺经济开发区的罕王MEMS工业园（HMIP）之中，工业园占地160英亩，道路也已经在2011年平整完毕。”Sparks说。

　　罕王计划投资30亿元人民币（约4.75亿美元），分三个阶段进行开发。Sparks表示，尽管初期准备安装200mm 晶圆生产设备，但厂房是为满足“300mm晶圆生产”建造的。他预测，将在几年内向生产300mm MEMS晶圆过渡。目前在MEMS领域还没有一家厂商能够生产300mm 晶圆。

　　Sparks表示，MEMS晶圆厂在第一阶段，将能够在2014年每月生产大约4，000个200mm 初制晶圆。他说，“我们将在2013年以前拥有后端处理工艺，比如电镀与蚀刻，再过一年可能就会拥有一切工艺。”

　　但Sparks并不十分担心项目进度拖延。他说，罕王进入MEMS领域是一项长期计划，而且资金充足。中国罕王控股有限公司是罕王集团的附属企业之一，2011年9月中香港上市，2011年净利润为6.706亿元人民币，营业收入为14.5亿元人民币（约2.3亿美元）。Sparks表示，整个集团的年营业收入约为5.5亿美元。

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