盘点全球五大半导体设备制造商

2015-02-23 02:00

　　Lam Research（科林研发）

　　Lam Research为全世界第三大半导体设备商，总公司于1980年成立于美国加州硅谷、1984年股票于美国NASDAQ上市、电浆蚀刻设备为全球销售之冠、四十多家子公司遍及欧洲、日本、韩国、新加坡、台湾、中国大陆等世界各地。

　　科林研发（Lam Research Corp.）是面向全球半导体行业提供晶圆制造设备和服务的主要供应商。科林研发30多年来始终致力于推进半导体制造。科林研发是等离子刻蚀和单晶圆清洗技术与市场份额的领先厂商，科林研发凭借全面的专业技术解决目前最尖端的半导体工艺难题。科林研发总部在加利福尼亚州弗里蒙特，并有一个遍及北美、亚洲和欧洲的全球服务网络，满足全球客户群多种多样和不断变化的需求。

　　作为半导体制造设备和服务给全球半导体行业的领先供应商，科林研发开发创新的解决方案，帮助客户构建更小、更快、功能更强大、更节能的电子设备。

　　美国科林研发公司在上海和北京设立了分公司和代表处，主要负责中国区客户的售后服务。

　　LKA-Tencor（科磊）

　　美商半导体设备大厂科磊（KLA-Tencor）成立于1976年，位于美国加州，是全球主要的半导体设备供货商，专精制程良率和提供制程控管量测解决方案，目前全球分公司遍布美洲、欧洲、亚洲等数10个国家，科磊在台湾分公司则是成立于1990年。

　　科磊第一台拥有操作和检测450mm（18吋）晶圆的制程控制系统Surfscan SP3 450，是全自动化非图形成像晶圆缺陷检测工具，针对检测20纳米制程或以下的线宽制程缺陷和晶圆表面的需求，可供450mm表面抛光晶圆和硅基（Epitaxial）晶圆的生产制程控制。

　　科磊投入先进制程设备开发，也包括电子束（E-beam）技术机台，台积电才表示未来在7纳米制程，会在EUV机台和电子束（E-beam）机台上做出选择，其中科磊是E-beam机台的合作伙伴之一，其他合作对象包括Mapper Lithography和IMS。

　　在极紫外光（EUV）机台方面，目前最积极投入的是荷兰半导体设备大厂ASML，日前也获得台积电、三星电子（Samsung Electronics）和英特尔（Intel）的入股投资。

　　KLA-Tencor China（科天中国）成立于1999年，隶属KLA-Tencor 公司旗下，针对中国独具特色的市场，旨在为半导体、数据存储、LED、光伏和后端封装等产业提供服务。Kla-Tencor在中国上海、天津、北京、苏州成立分公司或办事处，2003 年成立工程开发中心。