OFweek电子工程网讯 处在半导体产业链上游的设备行业具有技术难度大、进入门槛高的特点，导致我国在该领域的发展速度不及在IC设计、封测等领域的速度。但也正是因为这样，我国对半导体设备行业的重视程度日益提高。

近日，北方华创集团召开第六届董事会第八次会议，会议通过了其全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司收购美国Akrion Systems LLC公司的决议。同日，北方华创微电子总裁赵晋荣先生与Akrion公司总裁Michael Ioannou先生在北京正式签署并购协议。

据悉，Akrion在半导体湿法清洗技术领域拥有多年的技术积累和客户基础，其产品主要用于集成电路芯片制造、硅晶圆材料制造、微机电系统、先进封装等领域。此次北方华创微电子若成功收购Akrion将拓展其在清洗机设备领域的产销体系，丰富清洗机设备的产品线，增强实力。

近年来我国兴建晶圆厂的热潮必将提高市场对半导体设备的需求，但半导体设备这个被巨头垄断的市场却并不是那么容易攻占的，最明显的表现就是全球半导体设备企业前十强的榜单中，美国企业有4家、日本企业有5家、荷兰企业有1家，而中国企业未能上榜。

因此我国也正在推动半导体设备产业的发展，并涌现出一批有潜力的企业来，如年初时中国半导体行业协会公布的2016年中国半导体设备五强企业就是其中代表。

中电科电子装备集团有限公司是在中国电子科技集团公司2所、45所、48所基础上组建成立的二级成员单位，属中国电子科技集团公司独资公司，具备集成电路局部成套和系统集成能力以及光伏太阳能产业链整线交钥匙能力。已形成以光刻机、平坦化装备、离子注入机、电化学沉积设备等为代表的微电子工艺设备研究开发与生产制造体系，可服务于材料加工、芯片制造、先进封装和测试检测等多个领域。

北京北方华创微电子装备有限公司是北方华创科技集团股份有限公司的全资子公司，主营业务由原七星电子的半导体装备相关业务与原北方微电子的全部业务整合而成。产品涵盖：等离子刻蚀、物理气相沉积、化学气相沉积、氧化/扩散、清洗、退火等半导体工艺装备；平板显示制造装备和气体质量流量控制器等核心零部件。涉及集成电路、先进封装、LED、MEMS、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域。

中微半导体设备（上海）有限公司是一家从事集成电路装备制造的高科技企业。公司经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等，是国产等离子体刻蚀机和金属有机化学气相沉积设备的主要供应商。

上海微电子装备（集团）股份有限公司是一家掌握了高端光刻机相关技术且具有高端投影光刻机生产能力的企业。于今年3月份，与全球领先的半导体设备企业ASML签署了战略合作备忘录。公司主要从事半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。旗下产品可应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

沈阳拓荆科技有限公司主要从事研究、生产世界领先的极大规模集成电路行业专用薄膜设备，产品可应用于集成电路、先进封装TSV、光波导、LED、OLED显示等高端技术领域，矢志成为纳米级薄膜制造技术解决方案的领导者。