ASML：只有EUV光刻机受限，其他不受限

2021-11-08 12:06

今年上海进博会上，光刻机霸主ASML再度亮相。ASML全球副总裁、中国区总裁沈波就光刻机再次表态，他表示向我国出口集成电路光刻机持开放态度，在法律法规框架下全力支持。不过，EUV光刻机依然无法出货给大陆客户，但除此之外其他产品都可以出货。也就是说，DUV光刻机不受其他限制。

此前，ASML曾连续四次公开表态。第一次表示会加快布局我国市场，提供更加完善的售后服务。第二次直接表示向国内厂商销售DUV光刻机，不需要许可。第三次直接提高了对我国市场的营收预期。在去年的进博会上，ASML第四次表示向我国出售光刻机持开放态度。

从ASML的这次表态来看，EUV光刻机依然迟迟难见希望。众所周知，中芯国际在三年前曾花费1．5亿美元向ASML订购了一台EUV光刻机，原本应该于2019年初就交货，但由于美方阻挠，ASML拿不到许可证，至少未交付。

在今年3月初，中芯国际宣布和ASML签订了延长采购协议至今年年底，协议总价为12亿美元。按照产品金额来算，至少可以购买几十台DUV光刻机。

对于中芯国际而言，公司今年分别在北京、上海、深圳增资加码扩大产能，DUV光刻机无疑成为了最为重要的设备之一。但新的问题出现了，据台媒报道，目前中芯国际跟ASML续签的这个订单的DUV光刻机还没有到货。并且随着采购协议的最后期限临近，恐怕这笔订单将要跳票，从而危及中芯国际未来的产能计划。

根据沈波的说法，DUV光刻机应该是不受限制的，而迟迟无法供货的原因是，由于全球缺芯导致的光刻机需求增大，虽然ASML已经在尽力扩大产能，但依然不能满足用户需求。并且由于涉及的几千家配套供应商只能提供85％的零部件，因此有的产品交付期甚至要翻倍。

这意味着光刻机的订单太多，ASML虽能扩大产能，但供应商的配套部件跟不上，导致光刻机交货期也得延长。

另一方面，此前中芯国际宣布与ASML达成批量设备采购延长协议之后，美国共和党众议员麦考尔和鲁比奥还曾联合致信美国商务部长雷蒙多称，基于中芯国际协助中国大陆追求“取代美国在全球的领先地位”方面发挥的作用，为保护美国的国家安全利益，要求拜登政府劝说荷兰政府阻止ASML出售DUV光刻机卖给中芯国际，并且还须与盟国达成协议，统一出口限制和许可权，限制类似DUV和EUV光刻等技术设备的出售。显然，订单积压也许是中芯国际订购的DUV未能如期交货的原因之一，但背后又是否还存在其他的阻碍因素也不好说