炬光科技：公司为荷兰ASML核心供应商A公司提供光刻机零部件

2022-01-11 13:53

ASML工厂发生火灾

众所周知，炬光科技提供的光场匀化器产品主要是提供给ASML的核心供应商A公司，且已经应用到ASML的核心产品高端光刻机当中生产。

据了解，ASML在当地时间1月3日的时候有部分工厂发生火灾，当时ASML并未公布火灾受损情况。

到了当地时间1月7日，ASML更新了德国柏林的部分工厂内发生火灾的最新情况。

（图源ASML官网）

ASML表示，火灾发生在柏林现场的一栋生产大楼的一部分，烟雾部分影响了相邻的大楼。目前已经能够在这些建筑物的部分地区恢复生产。现场的其他建筑物没有受到影响，并已全面投入使用。

尽管ASML对损害的影响评估仍在进行中，但ASML认为：

1．我们的计量和检验输出计划不受影响，因为它们不包含柏林制造的任何组件。

2． DUV组件的制造已重新启动。尽管 DUV 的组件出现了一些中断，但我们希望以不会影响我们 DUV 的产量和收入计划的方式进行补救。

3．关于EUV光刻机，火灾影响了我们 EUV 系统中的一个模块晶圆夹具的部分生产区域。我们仍在完成该生产区域的恢复计划，并确定如何最大限度地减少对我们的 EUV 客户的任何潜在影响，无论是在我们的输出计划还是在我们的现场服务中。

同时，ASML还表示其将在2022 年 1 月 19 日公布 2021 年第四季度和全年业绩，以及对 2022 年的初步看法，预计届时还将提供有关该事件的进一步更新。

这次ASML德国柏林的工厂发生火灾，已经影响到了其光刻机产品重要零部件的供应，ASML或将因此找寻更多的供应商已确保可以及时获取充足的零部件供应，炬光科技子公司或将因此受益。

结语

炬光科技多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器，其产品目前在国内主要光刻机研发项目和样机中也已经有所应用，而国内的半导体设备产业也将因此受益，有效改善国内半导体设备产业的生态环境。

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