近日，炬光科技在投资者互动平台上表示，公司为荷兰ASML核心供应商A公司提供光刻机用光场匀化器和半导体晶圆退火核心元器件。

（图源投资者互动平台）

据了解，炬光科技成立于2007年9月，主要从事激光行业上游的高功率半导体激光元器件、激光光学元器件的研发、生产和销售。目前聚光科技已发展成为国内实力最强的高功率半导体激光器品牌，拥有共晶键合技术、热管理技术、热应力控制技术、界面材料与表面工程、测试分析诊断技术、线光斑整形技术、光束转换技术、光场匀化技术（光刻机用）和晶圆级同步结构化激光光学制造技术九大类核心技术，产品逐步被应用于先进制造、医疗健康、科学研究、汽车应用、消费电子五大领域。

而炬光科技为ASML供应商提供的半导体晶圆退火核心元器件和光场匀化器可用到半导体制造工艺中的前道工序中。

众所周知，晶圆激光退火是28nm及以下逻辑芯片制造中的关键工艺之一。该工艺采用近红外波段半导体激光光源，通过多组不同功能的激光光学整形系统及光学匀化系统，可以有效做到提升晶圆生产的良品率。

而聚光科技拥有的DLight S系列半导体集成电路晶圆退火系统在能量均匀性和能量稳定性上表现优异，可应用到半导体前道工序中，并完成动态表面退火（DSA）和激光尖峰退火（LSA）两种加工工艺。

另外，炬光科技推出的微光学光束整形产品具备大透镜纵深（大数值孔径）、光场非均匀度低（1％）、高品质材料选择范围广（玻璃、石英、半导体等）等优势，目前已经应用到业界领先的高性能半导体设备制造商中。

并购 LIMO扩大业务范围

值得一提的是，在去年12月23日，炬光科技发布了科创板上市公告书，根据公告书内容显示，炬光科技的重要收入及盈利来源于海外客户，在报告期内，公司主营业务收入中境外收入分别为 21，400．48 万元、18，071．63万元、18，855．15 万元和 9，160．51 万元，占主营业务收入比例分别为 61．38％、54．88％、53．19％和 42．51％。

而炬光科技的境外收入来源于2017年的一场并购。

在2017 年，炬光科技通过并购 LIMO后拥有“调控光子”的技术能力，并通过研发、市场、销售的战略整合，相互结合开始拓展“光子技术应用解决方案”。

据了解，LIMO是一家致力于拓展激光光学元器件的新兴应用领域的公司，主要从事激光光学业务，拥有线光斑整形技术、光束转换技术、光场匀化技术、晶圆级同步结构化激光光学制造技术等多项核心技术。

收购 LIMO 后，炬光科技获得了业务能力上的弥补和扩展，通过将LIMO原有业务激光光学产品线（MO）保留在 LIMO中运营，并在东莞新建产能共同从事激光光学元器件业务；半导体激光产品线（主要是工业应用模块，ILS）转移至西安运营，丰富了炬光科技的高功率半导体激光的产品线；

如今，炬光科技现已形成高功率半导体激光元器件、激光光学元器件、汽车应用（激光雷达）和光学系统四大核心业务领域。

半导体激光和激光光学为主营业务

在报告期内，炬光科技2021 年 1－9 月实现营业收入 34，289．44 万元，同比增长 29．33％，净利润为5439．32万元，同比增长116．22％。其中公司半导体激光业务和激光光学业务分别较上年同期增长 54．68％和 23．86％，为本期业绩增长的主要原因。

（图源炬光科技公告）

目前，半导体激光业务和激光光学业务已成为聚光科技的主要营收业务，2021年1－6月，公司的半导体激光及激光光学业务营收金额分贝为9439．04万元、10076．80万元，分别占比43．8％、46．76％。

其中，炬光科技的激光光学业务典型产品包括光束转换器、光场匀化器等。报告期内，其光场匀化器在光刻应用产品单价分别为22．30万元／件、20．38万元／件、20．87万元／件和20．91万元／件，光场匀化器等相关产品为炬光科技贡献了较大业务收入。

（图源炬光科技公告）