仅37万元，俄罗斯自研出光刻机，计划2024年搞定7nm芯片

2023-10-11 16:28

一台光刻机要多少钱？ASML之前的一台EUV光刻机的价格超过1.5亿美元，也就是13亿元人民币左右。

而据称最新的用于2nm的高数值孔径的EUV光刻机，可能需要3-4亿美元左右，也就是达到了25-30亿人民币去了。

而高端的浸润式光刻机，大约价格是5000美元，也就是3亿多人民币，而普通的DUV光刻机，大约是1000多万美元，也就是7000万元。

数据显示，2022年，ASML从中国市场获得21.6亿欧元的营收，销售了大约100台光刻机，算下来平均价格是2000万元一台。

可见，普通的DUV光刻机的价格，至少是千万起步，而高端浸润式光刻机则是亿元起步，至于更高端EUV光刻机，则至少是10亿元起步。

但近日，俄罗斯媒体报道称，俄罗斯制造出一国产的第一台光刻机，这台光刻机采用的是无掩模纳米光刻技术，成本大约为500万卢布（约36.74万人民币），而国外同类产品高达数十亿卢布（十亿卢布等于7000万元），成本不到百分之一。

当然，俄罗斯没有公布这台光刻机的精度是多少，不过既然比较的是国外数十亿卢布的同类产品，也就是7000万级别以上的，至少也是DUV级别吧，甚至有可能是浸润式光刻机的级别吧。

为何这么便宜？那就不清楚了，估计很大的原因是这是无掩模纳米光刻机，不需要用特殊的掩模。

事实上，俄罗斯之前就提出了一个计划，那就是用X射线来制造芯片，采用的就是这种光掩膜的直接光刻技术，直接操纵X射线在硅晶圆上进行光刻。

俄罗斯的X射线光刻机

而按照俄罗斯的计划，要在2024 年将创建一台名为“Alpha机器”的光刻机，这台机器是要达到7nm工艺精度的。

而这种制造7nm芯片的光刻机，会在2026年出现测试样机，然后在2028年要进行大规模的工业量产，开展全面的芯片生产工作。

并且，俄罗斯之前牛皮可是吹的非常响，说俄罗斯的这种光刻机，在输出方面，同等辐射源功率下，俄罗斯设备的效率将比ASML高1.5-2倍。

现在还不知道俄罗斯是在吹牛，还是真有这本事，不过37万就搞定出第一台光刻机，2026年就出现7nm光刻机的测试样机，看样子吹牛的成分居多，你觉得呢？

但不管怎么样，还是希望俄罗斯能够成功吧，毕竟在芯片制造这一领域，俄罗斯和我们算是一系的，都是在美国的封锁之下突破，敌人的敌人也算是朋友吧。

原文标题 : 仅37万元，俄罗斯自研出光刻机，计划2024年搞定7nm芯片

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