7nm大战在即买不到EUV光刻机的大陆厂商怎么办？

2017-08-24 00:49

OFweek电子工程网讯基于三星10nm制程工艺的骁龙835早已随着三星S8、小米6等一众手机面世，而基于台积电10nm制程工艺的联发科Helio X30也和魅族Pro 7系列手机一起亮相了。除此之外麒麟970及A11处理器将于今秋和消费者见面，各家产品虽有强有弱但手机芯片的10nm时代已经展开，下一步就是向7nm推进，工艺推动者无疑就是三星和台积电这两家已较劲了几代制程的业者了。

对于7nm制程工艺，三星和台积电两大晶圆代工领域巨头都早已入手布局以便争抢IC设计业者们的订单。其中三星原定于明年破土动工的韩国华城18号生产线动工时间已被提前到了今年11月，以便在2019年能够进入7nm制程量产阶段。值得注意的是三星华城18号生产线将会架设10多台极紫外光（EUV）设备。而根据早前的报道，目前台积电在7nm上已有12个产品设计定案，第一代7nm将在2018年实现量产（一说为年前实现量产），第二代7nm则会在2019年实现量产，并导入极紫外光技术。

不论是三星还是台积电在7nm上都将引入EUV设备，而这种被视为延续摩尔定律的设备的研发正是因为制程工艺进入10nm后难度骤增，193nm光刻技术不足以应付7nm、5nm的需要，所以寄希望于研发EUV光刻工艺来推动制程进步。

7nm制程的进度在一定程度上也是被EUV设备所控制的，而EUV设备却是被荷兰半导体设备厂商ASML所控制的。据悉ASML是一家从事半导体设备设计、制造及销售的企业，于1984年从飞利浦独立出来，在去年先后宣布收购汉微科及蔡司半导体24.9%股份。这家垄断了高端光刻机市场的厂商股东中有三家就是我们耳熟能详的英特尔、台积电和三星。而据其公布的2017第二季财报显示，公司该季营收净额为21亿欧元，毛利率为45%。

EUV光刻机研发难度非常大因此单台价格高昂至少要1亿多欧元，但这种价值连城的设备还不是有钱就能买到的，如受限于《瓦森纳协定》，大陆的厂商就买不到最高端的光刻机设备。此外，由于EUV光刻机生产难度和成本都非常大，导致称霸了该领域的ASML年产量也只有12台。不过有报道称，ASML正在提升生产效率，或能在2018年将产能增加到24台，2019年达到40台。

对于大力投入集成电路发展的大陆，ASML虽然不能出售最高端的设备，但是也有其他的合作方式。3月份时，与上海微电子装备（集团）股份有限公司签署了战略合作备忘录；6月份时，宣布与上海集成电路研究开发中心合作，将共同建立一个培训中心。而国内对于高端光刻机设备的研究也十分重视，由长春光机所牵头承担的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻关键技术研究”项目已于今年6月在评审专家组的一致同意下通过了项目验收，这是我国极紫外光刻核心光学技术水平提升的重要一步。