揭秘背后融资历程

清华系撑起中国半导体半壁江山

华卓精科背后出现一众VC／PE的身影。

据投资界不完全统计，华卓精科成立至今已获得超10轮融资，其中在公司挂牌新三板期间，共实施了5次定向增发，合计定增募资总额约为1．42亿元。背后的投资阵容囊括了水木创投、中金公司、大华大陆投资、浑璞投资、红星美凯龙、国家集成电路产业投资基金（下称“国家大基金”）等一线机构的身影。

回顾融资历程，华卓精科的启动资金恰恰来自于“自己人”。天眼查APP显示，2012年9月，华卓精科完成了种子轮融资，投资方为水木创投。这家VC是清华工业开发研究院旗下设立的科技成果产业化投资管理平台，其核心理念便是以市场需求为导向，整合清华大学的智力、政府和市场资源，专注清华科技成果产业化实践和展望。值得一提的是，水木创投管理合伙人吴勇，同时担任华卓精科董事长一职。

2015年5月，华卓精科完成了500万元A轮融资，投资方为中海投资与中关村海淀园创业服务中心。资料显示，两家机构均由中关村科技园区海淀园管委会发起设立。

随后在2018年10月，华卓精科又获得了一轮8700万元的战略融资，引入了中金公司、红星美凯龙、浑璞投资作为股东。同年11月，红星美凯龙及浑璞投资又参与了华卓精科的价值7587．50万元的定向增发。接连完成的这两笔融资，为接下来华卓精科新三板退市，冲刺科创板IPO奠定了基础。

紧接着，国家大基金也出手了。先是在2019年1月，国家大基金为LP之一的上海装备材料基金，参与了华卓精科的新一轮定向增发；同年3月，国家大基金联手祥晖资本、中丽基金共同完成了对华卓精科的B轮融资。

招股书显示，IPO后，华卓精科创始人朱煜持股26．79％为第一大股东；水木创投为最大机构股东，总计持股11．65％；浑璞投资与中金公司分别持股4．43％、2．30％，位列机构股东第二、三位。

诞生于清华园内的华卓精科，可谓是清华系半导体创业者的一缕缩影。在这座百年学府，已走出国内半导体产业的众多重要人物。

1977年，陈大同进入清华大学无线电电子学系学习，是同届唯一一名学习半导体专业的学生。抱着从国外学习先进技术，回国振兴半导体集成电路产业的愿望，当年陈大同等一群人远赴海外深度研究。

2000年回国后，陈大同发现中国半导体集成电路产业几乎退回了初始状态，便携手清华同盟武平等联合创办了展讯通信，决心通过创业推动中国半导体集成电路产业实现“凤凰涅槃”。在这一列队中还有中芯国际董事长赵海军、华大半导体总经理童浩然等。

多年后，一个极富传奇色彩的班级诞生了——EE85班，一众芯片大佬从这里走出。今年年初，EE85班的韦尔股份创始人虞仁荣捐资在家乡宁波创办了一所理工类新型研究型大学。这一隐秘而伟大的班级集体里，还有赵伟国、兆易创新创始人之一舒清明、卓胜微电子联合创始人冯晨晖、格科微电子创始人赵立新、燧原科技创始人赵立东等知名芯片企业家的身影。这群清华学子，几乎撑起了中国半导体的半壁江山。

华为也来了

为了国产光刻机，大家拼了

攻克光刻机，成为当下国内半导体产业刻不容缓的任务。

光刻机被誉为“半导体皇冠上的明珠”，是半导体产业中最关键设备。光刻工艺决定了半导体线路的线宽，同时也决定了芯片的性能和功耗。可以说，光刻机赋予了芯片“生命”。正因如此，在当前“缺芯危机”的影响下，国内在高端芯片生产制造环节的短板被再度放大。

外界历来有一个疑问：“为什么中国连原子弹都可以造出来，却造不出光刻机？”

核心原因在于，光刻机是横跨多个学科、产业的最顶级理论、技术与工艺的产物。一台光刻机由十万多个部件组成，集数学、化学、精密光学、流体力学、精密机械、自动化控制、软件工程、图像识别、电子电路等领域的顶尖技术于一身。一旦其中一项技术出现瓶颈，光刻机就无法面世。

纵观全球光刻机市场，荷兰公司ASML是当之无愧的霸主。2020年，ASML占据全球EUV光刻机出货的100％，占全球DUV光刻机出货的62％，剩下的份额由尼康和佳能瓜分。但即使是一家独大的ASML，也无法独立制造光刻机，90％的零件都由其它厂商提供。例如，光源技术是美国的、光学设备是日本的、轴承是瑞典的、阀件是法国的、机械工艺和蔡司镜头是德国的。

国际环境造成的影响同样不可忽视。根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV光刻机到中国，需要取得荷兰政府的出口许可。这也导致国内半导体龙头中芯国际于三年前，斥资1．2亿美元向ASML订购的一台EUV光刻机，至今迟迟无法得到交付。

欣慰的是，在攻克光刻机的这条荆棘之路上，华卓精科正迎来越来越多的同行者。

成立于2002年的上海微电子装备集团，正在全力追赶ASML。资料显示，上海微电子拥有3200项直接持有专利和专利申请，完全掌握了先进封装光刻机、高亮度LED光刻机等技术。今年7月20日，由上海微电子交付的首台国产封装光刻机，正式入驻青岛新芯科技工厂，年产能可达到36万片晶圆，而工艺制程最高可达65nm。与此同时，预计在今年底，上海微电子将正式交付首台28nm工艺制程国产光刻机，实现28nm工艺芯片纯国产化，并在明年突破14nm工艺芯片纯国产化。

与此同时，VC／PE们纷纷都在行动。早在2019年10月，第二期国家集成电路产业投资基金注册成立，规模超过2000亿元。与大基金一期投资范围不同的是，大基金二期将重点投资半导体设备及材料，包括光刻机、蚀刻机、大硅片、光刻胶等等。不久前，国产光刻胶公司南大光电前获得大基金二期1．83亿元投资，该公司研发的新一代ArF光刻胶也有望用于14／7nm工艺。

华为也出手了。今年6月，华为旗下哈勃投资入股了北京科益虹源公司，占股4．76％，为第七大股东。值得关注的是，北京科益虹源由中科院微电子所控股，是一家光刻机核心零部件公司，主要产品为DUV（深紫外）光刻光源产品系列，国内首台高能准分子激光器就出自其手。

这将是一场漫长的征途。正如元禾璞华管理合伙人陈大同所言，像半导体这种硬科技项目需要付出时间去研发，不能指望一两年短时间的爆发，即便上市最快也需要五年左右，因此所有人都应该抱着“十年磨一剑”的心态去参与。

作者：张继文 刘博来源：投资界