众所周知,目前全球最牛的光刻机厂商就是荷兰的ASML了,全世界仅有它一家能够生产EUV光刻机,而EUV光刻机是10nm以下芯片制造中必不可少的设备。
可以说ASML紧紧的扼住了全球芯片制造企业的喉咙,只要它不卖EUV光刻机给对方,对方的工艺就只能停留在10nm以上。
事实上,在20年前,ASML其实是一家名不见真传的小企业,和日本的尼康、佳能比起来,真的就是个小作坊,那么为何最终是它胜出,一家独大,然后让尼康、佳能变成了二流光刻机企业了呢?
事实上,这与ASML成长过程中的两个转折点有关,也正是抓住了这机会,在这两次转折点中,都站对了位置,才有今天的ASML。
第一次是2004年左右,当时业界采用的光刻机光源是193nm波长的,采用的是干刻法,接下来要提升光源到157nm波长,这样精度更高,但困难非常大。
这时候台积电表示,光源还可以使用193nm波长的,但换个介质试试,不要用空气当介质了,用水当介质,而光源在通过水时,会产生折射,这样193nm波长的光源,实际效果可能比157nm的波长还要好呢?
尼康、佳能认为这不实际,不如研究157nm光刻机好了,而ASML觉得自己反正就是小企业,不如陪台积电试一下,万一成功了呢?
于是ASML成功了,采用水当介质的浸润式光刻机火了,成功的把精度再提高了,且成本低,研发快,仅仅5年时间,ASML就拿下了全球一半多的市场,后来尼康、佳能想要跟进,已经迟了。
第二次机会是2015年,当时浸润式光刻机已经发展到极限了,接下来研究的方向采用波长为13.5nm的极紫外线,制造EUV光刻机。
并且这时候,英特尔牵头搞了一个前沿组织EUV LLC,就是研究这些的,于是ASML加入了进来,并且ASML很聪明,觉得如果自己搞出这样的光刻机,可能会被美国忌惮,于是让出了自己的股份,让英特尔、台积电、三星等都成为自己的股东。
这样不仅打消了美国的在顾虑,还赢得了客户、盟友,也得到了众多的技术支持,于是顺利的推出了EUV系列光刻机,还不愁卖,也不怕美国制裁它,如今ASML是真的在EUV光刻机上一家独大,真正的垄断市场了。
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