精测电子芯片设备已交付中芯国际！

2022-01-19 16:37

1月18日消息，精测电子在投资者互动平台上表示，公司2021年7月份出机中芯国际12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM），目前进展非常顺利，公司正在积极推进相关业务。

精测电子芯片设备已交付中芯国际！

（图源投资者互动平台）

精测电子表示，鉴于前道量测设备目前在国内主要由国外厂商主导，技术壁垒较高，相对于其他半导体设备验证周期较长；同时，大部分客户对新进工厂的第一台设备都需要按各自流程正常进行验证测试，验证周期长短受设备类型、客户要求、现场环境等因素的影响。因此，前述两台设备目前仍处在正常调试验证过程中，具体时间视验证情况而定。

据了解，精测电子是一家致力于为半导体、显示以及新能源等测试领域提供卓越产品和服务的高新技术企业。目前，精测电子已形成在半导体检测前道、后道全领域的布局。其子公司武汉精鸿主要聚焦自动检测设备（ATE）领域，已实现关键核心产品技术转移、国产化研发、制造、核心零部件国产化。

此外，精测电子主要聚焦半导体前道检测设备领域，主要应用了光谱分析、电子束成像、光学超分辨率成像、光学干涉量测等相关技术。精测电子的产品主要基于一种或多种技术综合开发形成工业化应用级设备，如膜厚量测设备及光学关键尺寸量测设备（OCD）主要基于光谱分析，电子束缺陷检测设备主要基于电子束成像等其它相关量产或在研产品。

在半导体测试领域，精测电子通过前后道测试全领域布局介入半导体检测设备领域，已取得国内一批客户的批量重复订单。现有客户主要包括长江存储、广州粤芯、中芯国际等国内半导体厂商。

值得一提的是，此前中芯国际已经被美国列入实体清单，难以获得如蚀刻机、光刻机等先进半导体设备。对此，中芯国际回应称，公司在被列入美国实体清单后，根据美国《出口管制条例》的规定，供应商在获得美国相关部门的出口许可后向本公司供应受《出口管制条例》所管辖的物项。目前，公司生产连续性已基本稳定，公司已经陆续宣布了北京、深圳、上海的新厂建设项目。

如今，国内半导体设备再度获得突破，成功供货中芯国际，国内半导体设备产业实现国产替代的进程再度提速，等半导体设备皆全部完成国产替代之时，国内半导体产业的发展再也不用受制于人。