随着疫情逐渐趋于稳定，各大精密仪器企业纷纷复苏，不断创新探索半导体行业的更多可能。2021年3月17–19日，半导体行业年度盛会“SEMICON China”如期在上海新国际博览中心召开。作为百年光学企业，奥林巴斯受邀出席此次盛会，与全球同行交流分享前瞻的光学技术和解决方案，共同推进中国半导体行业的发展。

本次大会以“跨界全球·心芯相联”为主题，为业界各方提供了交流、合作与创新的平台。展会期间，奥林巴斯于会展中心“N2馆2627展位”搭建展台，其OLS5100、DSX1000、MX63L等明星产品悉数亮相，为行业提供更高效先进的成像解决方案，吸引了众多参会来宾的参观驻足。

SEMICON China 2021奥林巴斯展台

“专注亚微米检测”LEXT OLS5100 3D测量激光显微镜

展会上引人注目的莫过于 LEXT OLS5100 3D测量激光显微镜。随着工业设备朝着微型化、轻量化发展，芯片的集成度越来越高，半导体行业对亚微米级别的超精密加工和检测的需求越来越大。对此，奥林巴斯提供的3D测量激光显微镜LEXT OLS5100，凭借亚微米3D观察和表面粗糙度测量高水平的准确性和精度，为用户提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据。

同时，作为一款智能3D测量激光显微镜，奥林巴斯LEXT OLS5100颠覆了传统激光显微镜操作复杂的现状，所有必要的设置调整和数据采集均由显微镜自动完成，操作员只需将样品放在载物台上，按下开始按钮即可针对待测样品进行精细的形貌测量，让测试检验的流程更快、更高效。

备受关注的LEXT OLS5100 3D测量激光显微镜

“快速故障分析能手”DSX1000 数码显微镜

奥林巴斯展区内的数码显微镜，同样使人眼前一亮。在工业生产中，样品细微的偏差，会直接导致检测报告的回馈出现偏差，这对企业产品品控以及生产有着很大的影响。为了确保产品研发、生产的顺利进行，奥林巴斯DSX1000 数码显微镜，可满足各种观察和分析需要，快速进行宏观至微观的观察。

在检测过程中，DSX1000数码显微镜的电动变焦光路结合了先进的观察功能，可实现明场、暗场、MIX、偏光、斜射、微分干涉六种观察方法一键式切换及对比度增强，细微之处的缺陷划痕也可轻松观察。DSX1000数码显微镜还可实现多种样品的观察，显微镜头部和载物台都可以旋转±90°，无论是微小样品还是大型样品的观察和分析都更易于实现。此外，DSX1000配备的远心光学系统使其在整个放大范围内的图像失真率极低，实现了有保证的准确度和重复性的高精度测量。

工作人员为现场嘉宾讲解DSX1000 数码显微镜

“大尺寸样品检测 顺畅高效”MX63L工业检测显微镜

对于检测人员来说能够在日常工作中，使用一台检测顺畅、操作简便的仪器是提高工作效率的核心，而奥林巴斯MX63L半导体检测显微镜具备优异的光学性能、适合大尺寸样品、先进的人体工学设计等诸多优点，充分展现了其在高质量检测方面的独特优势。

MX63L显微镜系统支持检测尺寸达300毫米的晶圆、平板显示器、印刷电路板以及其它样品的质量。此外，该显微镜还可以搭配晶圆搬送机AL120使用，实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅或化合物晶圆从晶圆匣运送到显微镜载物台上。其卓越的性能和可靠性能够安全、高效地对晶圆正面和背面进行宏观检测，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查，从而提高整个流程检测效率。

嘉宾体验MX63L＋AL120 半导体／ FPD ／工业检测显微镜

“随心选择 灵活运用”用于整合的显微镜部件

“节约成本，精准把握品控，检测环节的优化，最终达到节省项目开发周期，为更多半导体厂商提供更优质精准的仪器……”随着展台工作人员对参会人员耐心的阐述产品优势，也验证了奥林巴斯100多年在光学－机械、电子、数字和精密技术领域的丰富经验，其“用于整合的显微镜部件”可提供超过1000个组件，能够轻松应对半导体厂商切实需求，并帮助其从各种现成和定制光学器件及组件中进行选型，为用户节省观察时间，最终缩短产品开发时间。

技术产品选型仅仅是第一步，奥林巴斯还可提供协助按计划执行生产和开发计划的灵活供应链管理服务。奥林巴斯组件的质量和性能将直接对设备制造商的成功构成影响，其专业支持团队可满足现今苛刻的技术和物流需求。

用于整合的显微镜部件

伴随中国半导体产业全面恢复，更多前沿的技术和解决方案在展会中得以全面的展示。作为百年光学企业，奥林巴斯会秉承其优质高效的产品以及服务理念，持续提供精密的工业产品，不断进取，开拓市场，为全力支持中国乃至世界“后疫情时代”的全新工业局势而不断发力。