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聚焦丨”银钱许可证“光刻机:阿斯麦与尼康的不同命运

2020-06-09 11:54
Ai芯天下
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前言:

光刻机不是印钞机,但却比印钞机还金贵。曾经的光刻机霸主尼康错失了关键战役,30多人起步的阿斯麦步步紧逼成为如今霸主,不禁让人感叹。

曾经的光刻机霸主尼康

80年代,日本光刻机还处于碾压美国竞争对手阶段,在硅谷成立的尼康精机,直接把战斗指挥部放到美国高科技行业的心脏。

但是美资厂商铂金埃尔默受尼康冲击,份额从超过30%跌到不足5%,今天它已经完全放弃半导体设备业务,专注于健康检测设备。

而那时候IBM、AMD、德州仪器和英特尔这些GCA的大客户,排着队跑到尼康那拿货。尼康和GCA各享30%的市场份额,这种一山二虎的局面没有维持多久,尼康就独自为王,占领超过50%的份额,一直到阿斯麦崛起为止。

但是在2009年时,阿斯麦已经占据70%市场份额,尼康则从行业老大变成小弟。

AI芯天下丨聚焦丨”银钱许可证“光刻机:阿斯麦与尼康的不同命运

飞利浦降低身价成就小弟阿斯麦

在这之前几年,飞利浦实验室研发出自动化步进式光刻机的原型,但对它的商业价值心里直敲小鼓,找P&E、GCA、Cobilt、IBM这些半导体界的大佬谈合作,没人愿意搭理。

这时,荷兰一家叫ASM International的小公司主动要求合作,飞利浦犹豫了一年,勉强同意成立股权对半的合资公司,这就是后来的阿斯麦。

飞利浦之所以愿意放低身价和一家名不见经传的小公司合作,原因有两个:一方面是飞利浦当时正和索尼主推更赚钱的CD,比小众的光刻机更有投资价值;

另一方面,尼康在光刻机市场只手遮天,老牌半导体设备厂商节节败退,雪上加霜的是,飞利浦当时正打算开始大规模裁员,糟糕的经济状况和恶劣的光刻机市场环境,使它不敢大手笔押注光刻机,因此与ASM International合作,不过是想占个坑观望而已。

在上世纪80年代,阿斯麦还仅仅只是飞利浦旗下的一家小的合资公司,全公司上上下下也就31个人,出门销售都要顶着飞利浦的名头,当时的ASML是多么的弱小和无助。

当时的光刻机行业尼康是巨头,英特尔、IBM、AMD等芯片厂商,都需要每天排队等在尼康门口,为的就是能够拿下最新的光刻机,和现在排队等在ASML的门口如出一辙。

AI芯天下丨聚焦丨”银钱许可证“光刻机:阿斯麦与尼康的不同命运

尼康没落的那场技术之争

作为上世纪九十年代最大的光刻机巨头,尼康的衰落,始于那一回157nm光源干刻法与193nm光源湿刻法的技术之争。

背后起主导作用的,是由英特尔创始人之一戈登·摩尔提出的摩尔定律的产业规范:集成电路上可容纳的元器件的数量每隔18至24个月就会增加一倍。

光刻机的关卡等级其实是指数级别增加的,上世纪90年代,光刻机的光源波长被卡死在193nm,成为了摆在全产业面前的一道难关。

尼康等公司主张用在前代技术的基础上,采用157nm的 F2激光,走稳健道路,选择了在157nm上一条道走到黑,却没意识到背后有位虎视眈眈的搅局者。

当时还是小角色的阿斯麦决定赌一把,相比之前在传统干式微影上的投入,押注浸润式技术更有可能以小博大。

于是和林本坚一拍即合,仅用一年时间,就在2004年就拼全力赶出了第一台样机,并先后夺下IBM和台积电等大客户的订单。

尼康晚了半步,很快也就亮出了干式微影157nm技术的成品,但毕竟被阿斯麦抢了头阵,更何况波长还略落后于对手。

在2000年之前的整个16年时间里,光刻机市场差不多都是尼康的后花园,阿斯麦占据的份额不超过10%。

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