晶圆月产能7万片，良率可达99%，中芯国际又一重大项目量产

2021-07-08 10:06

据浙江日报报道称，位于浙江绍兴的中芯绍兴成功完成晶圆设备链调试。8 英寸晶圆月产能增至 7 万片，良品率达 99％。目前半导体领域应用范围最广的是 8 英寸、12 英寸晶圆。中芯绍兴量产成功的 8 英寸晶圆，可用于智能汽车、智能家居家电的芯片制造。

据悉，中芯绍兴成立于2018年3月，由中芯国际和绍兴集成电路产业基金联合设立，一期总投资58．8亿元，从中芯国际转移并扩建一条8英寸特殊工艺芯片生产线和模组封装生产线，提供微机电（MEMS）和功率器件（IGBT、MOSFET）芯片和模组生产服务。

中芯绍兴布局三大工艺平台：一是 MEMS 平台，包括 MEMS 麦克风、压力传感器、超声波传感器、振荡器、加速度计、陀螺仪；二是 MOSFET 工艺平台，包括沟槽式 MOSFET、分栅式 MOSFET 以及超结 MOSFET；三是立足场截止型（Field Stop）IGBT 结构。

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