一台EUV光刻机有45万个零件，ASML只生产15%，85%靠采购

2023-02-20 16:04

众所周知，EUV光刻机被人称之为世界上最精密的机器，因为它能用来生产当前最先进的3nm芯片，是真正的“工业皇冠上的明珠”。

而从价格来看话，一台先进制程的EUV光刻机，可以卖到3～4亿美金，比一架波音飞机都贵，而重量甚至可以达到180万吨。

如果要从荷兰运一台ASML光刻机到中国，需要4架次的波音747货机，还需要40多个恒温恒湿专用箱、专业防震气垫车来运输，路上还不能出任何一点差错，一出差错，问题就大了，不是损失钱，一台EUV就像是一台印钞机一样，是损失了“印钞”能力。

同时当这台机器运到目的地后，需要专业的运输车来运送，还需要一组工程师，到现场进行安装调试。

而一旦调试好之后，这台EUV光刻机一年可以稳定运行超过98％的时间，每年停机检修工作只需要7天左右，每一个部件正常工作时间至少要达到3万小时以上。

可见，ASML的光刻机，确实牛，不是吹的，这种精密程度，说全球最精密，一点都没有吹牛。

而一台这样的EUV光刻机，需要的零件不是网上说的10万个，而是超过45万个。

这45万个零件中，ASML大约只生产了其中的15％，另外的85％是ASML从全球的供应链那里整合而来的。

一台EUV光刻机有45万个零件，ASML只生产15%，85%靠采购

在光刻机这一领域，ASML的最大本事，其实并不是什么自研技术，其实是组装光刻机，将这45万个零件，组装成一台全球最精密的仪器，让他全年无休的工作，不需要休息，这就是ASML的本事。

毕竟一台光刻机，在制造芯片时，镜头是不动的，而晶圆是要在工作台上是在不断移动的，如果控制不好，芯片就没法制造了。而EUV光刻机内，这种移动的精度要达到1nm内，也就是“套刻精度”（Overlay）＜1nm。

目前全球也就ASML能够达到，像尼康、佳能的光刻机，还达不到这种精度，所以他们也无法推出EUV光刻机。

一台EUV光刻机有45万个零件，ASML只生产15%，85%靠采购

至于ASML的EUV核心技术，其实还是来源于美国，当年美国的英特尔发起了EUV LLC联盟，集合了英特尔、ASML、AMD、摩托罗拉等美国科技巨头，还有几大美国实验室，集合几百位顶级科学家的力量，投入了几亿美元，验证了EUV光刻机的可行性后，将技术只交给了ASML，让ASML来研发。

而ASML则拉上蔡司等供应链，不断的研究，终于让理论变成现实，有了现在的EUV光刻机，而尼康、佳能没能得到美国的EUV技术，最终还停留在DUV上。

可见，组装也是核心科技，就像欧洲的工程师曾吹牛的，给中国光刻机图纸，也未必造得出光刻机出来，还真是如此，就算拿到45万个零件，我们也未必能够造出这种精密的机器来，需要积累、经验，以及各种光学、力学、物理、材料能力等等。

所以国产光刻机加油吧，没有什么弯道超车的方法，把基础打牢，与供应链合作，靠自己生产45万个零件，不太可能的，只有大家一起一步一步走，才有可能追上，想要弯道超车，说不定会翻车。

原文标题 : 一台EUV光刻机有45万个零件，ASML只生产15%，85%靠采购

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