晶瑞电材：已经开始研发高端ArF光刻胶

2021-12-16 13:46

12月16日消息，昨天，晶瑞电材发布投资者关系活动记录表，并表示其KrF（248）光刻胶产品已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段，并已经开始着手建设 KrF 光刻胶的量产化生产线。

另外，经瑞电材已经开始启动其ArF（193）高端光刻胶的研发工作，目前已经完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等关键研发设备的购置，其中，ASML 1900Gi 型光刻机设备正在积极调试中。

有投资者问道，公司是否已经购得一台 KrF 光刻机，公司目前共有几台光刻机？晶瑞电材表示，公司近期已购得 KrF 光刻机一台，可用于 KrF 光刻胶的曝光测试，同时公司 KrF 光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，公司已经购得用于负胶、g 线、i线、ArF 等 4 台光刻机，再加之此次购得的 KrF 光刻机，截至目前，公司已经到位 5 台光刻机。

众所周知，由于国内光刻胶领域起步较晚，技术严重落后等原因，导致我国半导体芯片领域的光刻胶需求主要由外资企业来满足，日美厂商占据了约87％的份额，国内光刻胶产品进口比例高达九成。

如今，国内能实现光刻胶量产的企业只有晶瑞电材和北京科华两家企业，其中，晶瑞电材公司的i线光刻胶已实现供货中芯国际、合肥长鑫等国内FAB厂，北京科华则已经实现量产KrF光刻胶，并向中芯国际供货。

目前国内的高端ArF光刻胶领域里，仍没有企业能实现量产，目前国内在ArF光刻胶领域进度较为领先的企业是南大光电，其自主研发的ArF光刻胶产品，在2020年12月时成功通过武汉新芯的使用认证，成为通过产品验证的第一家国产ArF光刻胶企业，目前，南大光电已经建设完成ArF光刻胶产品的大规模生产线，全面实现量产后，产能将达到年产25吨ArF光刻胶。

现在，晶瑞电材也已经开始研发高端ArF光刻胶，在未来，随着晶瑞电材KrF光刻胶测试完成并逐步量产、ArF光刻胶研发成功并实现量产，以及其在南通、陕西、四川等基地新增的高纯硫酸、NMP、光刻胶等产品产能的逐步释放，将为国内的光刻胶产业带来新的突破。