日媒：没有一个国家，能独立造出EUV光刻机

2023-03-20 10:57

众所周知，当芯片工艺制程进入7nm及以下时，需要用到EUV光刻机。

而全球目前仅一家企业能造出EUV光刻机，那就是ASML，且ASML的年产量不高，2022年仅生产40来台左右。

而目前像三星、intel、台积电、美光等巨头，都需要EUV光刻机，所以其实ASML的光刻机是供不应求的。

理论上来讲，在这样的情况下，应该会有众多的光刻机厂商，摩拳擦掌想要研发出EUV光刻机出来，但事实上，目前除了ASML外，没有其它厂商真正在跟着ASML研发EUV光刻机。比如佳能研发NIL纳米压印，还有研发BLE电子束光刻机等等厂商，大家选择另外的路。

而近日，有日本媒体更是表示，全球没有一家国家，能够独立造出EUV光刻机出来，所以按照ASML的路，去研发EUV光刻机，基本上不可能成功。

报道表示，ASML生产的EUV光刻机，有超过10万个以上的零件，这些零件中，85%是ASML从国外采购的，只有15%是ASML自研的。

而这85%的零件，更是整合了全球的供应链的技术，这些供应链分布于全球30多个国家。日媒表示，目前没有一个国家，能够掌握EUV光刻机的全套技术，荷兰不行，美国不行，日本也不行。

同时因为ASML将这些顶尖的供应链都拉到了自己的集团中，大家利益共享，很难被打破，所以另外的企业，去研发EUV光刻机，基本上非常难。

当然，日媒没有点名中国行不行，但从它的字里行间透露出来的信息，那就是不行，他说是没有一个国家可以独立搞定。

那么日媒说的有没有道理呢？当然是有道理的，ASML目前确实是整合了全球最顶尖的技术，比如光学领域的蔡司，就是天花板，被ASML绑到自己的战车上了。

目前EUV光刻机中的物镜系统，甚至是浸润式光刻机中的物镜系统，全球都只有蔡司一家能够生产，尼康都要从蔡司那获得技术授权和支持，才能生产浸润式光刻机出来。

类似于蔡司这样的企业，还有很多，可以说，其它国家和地区，想要造出EUV光刻机出来，需要再造众多类似于蔡司这样的天花板型的顶级企业，可以说是千难万难。

理论上而言，确实没有任何一家国家，能够将EUV光刻机中的所有核心技术，全部掌握，并且达到最顶尖的水平，最后再结合在一起，造出EUV光刻机出来。

不过，对于我们而言，就算它再难，也不得不迎难而上，因为我们没有选择。当然，还有另外的可能，那就是我们研发出另外的光刻机技术，取代EUV光刻机，比如NIL纳米压印、BEL电子束技术等，目前日本也在走这样换道超车的路。

原文标题 : 日媒：没有一个国家，能独立造出EUV光刻机

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